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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0137389 (2020-10-22) | |
공개번호 | 10-2022-0053720 (2022-05-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200137389 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-10-22) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
내부 공간을 갖는 원통형의 회전 음극드럼에 있어서, 상기 회전 음극드럼은 금속층 상에 타이타늄층이 적층되어 있고, 상기 타이타늄 층은 외표면에 타이타늄 분말 또는 타이타늄 합금 분말을 직접에너지적층(Direct Energy Deposition) 방식으로 적층하여 형성된 DED 타이타늄층을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 제조용 회전 음극드럼이 개시된다. 본 발명의 일 측면에서 제공되는 박막 제조용 회전 음극드럼은 용접부가 존재하지 않거나 외표면에 용접부가 노출되지 않음으로써 결정립의 크기가 더 미세하고 균일하여, 이에 따라 제조되
내부 공간을 갖는 원통형의 회전 음극드럼에 있어서,상기 회전 음극드럼은 금속층 상에 타이타늄층이 적층되어 있고,상기 타이타늄 층은 외표면에 타이타늄 분말 또는 타이타늄 합금 분말을 직접에너지적층(Direct Energy Deposition) 방식으로 적층하여 형성된 DED 타이타늄층을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 제조용 회전 음극드럼.
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