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[한국특허] 바이리스터 소자, 그 제조 방법, 및 바이리스터 소자를 포함하는 휘발성 메모리 장치
Biristor device, method of fabricating the same, and volatile memory apparatus including biristor device
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-027/102
  • H01L-029/165
  • H01L-029/861
출원번호 10-2020-0148873 (2020-11-09)
공개번호 10-2022-0063027 (2022-05-17)
DOI http://doi.org/10.8080/1020200148873
발명자 / 주소
  • 최양규 / 서울특별시 용산구 후암로 ** 브라운스톤 ***동 ***호
  • 이건범 / 부산광역시 동래구 사직북로 ** KCC 스위첸 ***동 ***호
  • 윤경준 / 경기도 성남시 분당구 내정로 ** (정자동, 상록마을우성아파트)
출원인 / 주소
  • 에스케이하이닉스 주식회사 / 경기도 이천시 부발읍 경충대로 ****
  • 한국과학기술원 / 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
대리인 / 주소
  • 김권석
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 공개

초록

바이리스터 소자와 그 제조 방법 및 바이리스터 소자를 포함하는 휘발성 메모리 장치에 관해 개시되어 있다. 개시된 바이리스터 소자는 제 1 도전형의 제 1 도펀트가 도핑된 제 1 단결정 실리콘을 포함하는 컬렉터, 상기 컬렉터 상에 구비된 것으로 제 2 도전형의 제 2 도펀트가 도핑된 실리콘계 화합물 반도체를 포함하고, 상기 실리콘계 화합물 반도체는 상기 제 1 단결정 실리콘과 이종접합을 형성하는 베이스, 상기 베이스 상에 구비된 것으로 상기 제 1 도전형의 제 3 도펀트가 도핑된 제 2 단결정 실리콘을 포함하는 버퍼층 및 상기 버퍼층

대표청구항

제 1 도전형의 제 1 도펀트가 도핑된 제 1 단결정 실리콘을 포함하는 컬렉터; 상기 컬렉터 상에 배치되고, 상기 제 1 도전형과 반대의 제 2 도전형의 제 2 도펀트가 도핑된 실리콘계 화합물 반도체를 포함하고, 상기 실리콘계 화합물 반도체는 상기 제 1 단결정 실리콘과 이종접합(heterojunction)을 형성하는 베이스; 상기 베이스 상에 배치되고, 상기 제 1 도전형의 제 3 도펀트가 도핑된 제 2 단결정 실리콘을 포함하는 버퍼층; 및 상기 버퍼층 상에 배치되고, 상기 제 1 도전형의 제 4 도펀트가 도핑된 폴리 실리콘을 포

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