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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0150680 (2020-11-12) | |
공개번호 | 10-2022-0064528 (2022-05-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200150680 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은, 검사 대상체의 단면부 데이터를 측정하기 위한, 단면부 데이터 측정부; 검사 대상체의 두께를 측정하기 위한, 두께 측정부; 및 상기 단면부 데이터 측정부와 두께 측정부에 의해 측정된 데이터를 처리하기 위한, 데이터 처리부를 포함하는, 형상 관리 장치 및 이를 이용한 형상 관리 방법에 관한 것이다.
검사 대상체의 단면부 데이터를 측정하기 위한, 단면부 데이터 측정부;검사 대상체의 두께를 측정하기 위한, 두께 측정부; 및상기 단면부 데이터 측정부와 두께 측정부에 의해 측정된 데이터를 처리하기 위한, 데이터 처리부를 포함하는, 형상 관리 장치.
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