[특허]신소자 테스트 시스템 및 신소자 테스트 방법

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[한국특허] 신소자 테스트 시스템 및 신소자 테스트 방법
NEW DEVICE TEST SYSTEM AND THE NEW DEVICE TEST METHOD 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G01R-031/3183 G01R-031/317
출원번호	10-2020-0153012 (2020-11-16)
공개번호	10-2022-0066696 (2022-05-24)
등록번호	10-2479995-0000 (2022-12-16)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020200153012
발명자 / 주소	이희덕 / 대전광역시 서구 둔산북로 **, 동 *호(둔산동, 햇님아파트) 송형섭 / 대전광역시 대덕구 대청로번길 (미호동) 최현웅 / 대전광역시 유성구 대학로 *(봉명동)
출원인 / 주소	충남대학교 산학협력단 / 대전광역시 유성구 대학로 ** (궁동, 충남대학교)
대리인 / 주소	권혁수; 송윤호
심사청구여부	있음 (2020-11-16)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

신소자 테스트 시스템이 개시된다. 상기 시스템은, 하나 이상의 단위 셀 테스트 어레이;를 포함하는 어레이 테스트 패턴; 및 상기 어레이 테스트 패턴에 신호를 인가하기 위한 디멀티플렉서;를 포함할 수 있다. 상기 단위 셀 테스트 어레이는, 트랜지스터;를 포함하고, 상기 트랜지스터에는 BEOL 공정을 통해 테스트 대상이 되는 신소자가 집적될 수 있다.

대표청구항 ▼

단위 셀들이 행렬로 배열된 테스트 어레이; 및상기 테스트 어레이에 신호를 인가하기 위한 디멀티플렉서;를 포함하며,상기 단위 셀들 각각은 트랜지스터, 상기 트랜지스터 상에 배치되고 상기 트랜지스터에 전기적으로 연결된 신소자를 포함하고,상기 단위 셀들 각각은:상기 테스트 어레이의 각 행의 트랜지스터들의 게이트에 전기적으로 연결된 워드라인;상기 테스트 어레이의 각 열의 트랜지스터들의 소스에 전기적으로 연결된 소스라인; 및,상기 테스트 어레이의 각 열의 트랜지스터들의 드레인에 전기적으로 연결된 비트라인을 포함하며,상기 신소자는 상기 비트라인과 상기 드레인 사이에서 상기 비트라인과 상기 드레인에 전기적으로 연결되고,상기 디멀티플렉서는 어드레스 디코더 및 패스 트랜지스터로 구성되고,상기 디멀티플렉서는 상기 비트라인, 상기 소스 라인, 상기 워드라인에 각각 외부에서 인가되는 독립적으로 원하는 전압을 상기 패스 트랜지스터를 통해 상기 독립적으로 원하는 전압을 인가하도록 구성되는,신소자 테스트 시스템.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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