[특허]열 특성 개선을 위한 마이크로공진기 소수성 표면 처리 방법

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[한국특허] 열 특성 개선을 위한 마이크로공진기 소수성 표면 처리 방법
Surface dehydration treatment of microresonators to prevent excess thermal instability 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01P-011/00 H01P-007/10
출원번호	10-2020-0166192 (2020-12-02)
공개번호	10-2022-0077349 (2022-06-09)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020200166192
발명자 / 주소	이한석 / 대전광역시 유성구 대학로 *(구성동) 정동인 / 대전광역시 유성구 대학로 *(구성동)
출원인 / 주소	한국과학기술원 / 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
대리인 / 주소	유미특허법인
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록

열 특성 개선을 위한 마이크로공진기 소수성 표면 처리 방법을 제안한다. 구체적으로, HMDS(hexamethyldisilazane)를 이용한 소수성 표면처리로 수분 흡착을 방지하여 기존의 소자 제작 방식과 솔리톤 모드(Soliton mode) 잠금 기술을 유지하면서도 Q-factor의 저하 없이 대기 노출에 오랜 시간동안 솔리톤 모드 잠금 동작이 가능하도록 한다.

대표청구항

열 특성 개선을 위한 마이크로공진기 소수성 표면 처리 방법.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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