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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2020-0168094 (2020-12-04) | |
| 공개번호 | 10-2020-0139122 (2020-12-11) | |
| 등록번호 | 10-2478970-0000 (2022-12-14) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020200168094 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2021-12-08) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명에 따르면 단지 한 개의 홀로그램의 획득으로 측정 대상 물체의 3차원 형상 정보를 정확하게 생성할 수 있다. 특히 한 개의 홀로그램으로부터 기준광에 관한 정보 및 물체광 대물 렌즈의 곡률 수차 정보를 생성하고 이를 고려하여 획득된 물체 홀로그램을 보정함으로써 정확도가 향상된 측정 대상 물체의 3차원 형상 정보를 생성할 수 있다. 또한 복잡한 광학 장치 구조 및 그에 따른 상당한 고비용 문제를 해결할 수 있다. 나아가 TFT, 반도체와 같은 초미세 구조의 3차원 형상을 정확하게 획득함으로써 이러한 구조들의 결함을 높은 확률로
광학 거울로부터 반사된 기준광과 측정 대상 물체에 영향을 받는 물체광의 간섭에 의해서 생성된 물체 홀로그램의 강도(Intensity) 정보를 포함하는 이미지를 기록하는 영상 센서 및 상기 영상 센서가 획득한 이미지를 처리하는 프로세서를 포함하는 홀로그래피 복원 장치의 측정 대상 물체의 3차원 형상 정보를 생성하는 방법에 있어서,상기 프로세서가 상기 이미지에 포함된 적어도 하나의 주파수 성분들을 확인하는 단계;상기 프로세서가 상기 적어도 하나의 주파수 성분들 중에서, 물체 정보가 없는 영역에 포함된 주파수 성분들을 이용하여 노이즈 레
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