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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0170315 (2020-12-08) | |
등록번호 | 10-2251891-0000 (2021-05-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200170315 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-12-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
기판 지지 장치 및 이를 이용한 기판 반출 방법이 개시된다. 본 발명에 따르면, 정전기력에 의해 기판을 지지하는 정전척(electrostatic chuck), 기판이 정전척의 잔류 정전기력으로부터 벗어나 정전척에서 분리되도록, 기판을 상기 정전척으로부터 이격시키는 디척킹 유닛(dechucking unit), 및 기판의 반출을 위하여, 정전척으로부터 분리된 기판을 정전척의 상측으로 이동시키는 리프팅 유닛을 포함하는 기판 지지 장치가 제공된다.
정전기력에 의해 기판을 지지하는 정전척;상기 기판이 상기 정전척의 잔류 정전기력으로부터 벗어나 상기 정전척에서 분리되도록, 상기 기판을 상기 정전척으로부터 이격시키는 디척킹 유닛; 및상기 기판의 반출을 위하여, 상기 정전척으로부터 분리된 상기 기판을 상기 정전척의 상측으로 이동시키는 리프팅 유닛을 포함하고,상기 디척킹 유닛은 상기 리프팅 유닛과 이격되어 위치하고,상기 디척킹 유닛이 상기 기판에 접촉하는 부분은 상기 리프팅 유닛이 상기 기판에 접촉하는 부분과 중첩되지 않도록 위치하는, 기판 지지 장치.
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