[특허]마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 및 제어 시스템

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[한국특허] 마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 및 제어 시스템
Z/Tilt stage and control system thereof for aligning mask 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G03F-007/20 G03F-001/84
출원번호	10-2020-0174266 (2020-12-14)
공개번호	10-2022-0084617 (2022-06-21)
등록번호	10-2548949-0000 (2023-06-23)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020200174266
발명자 / 주소	강동우 / 세종특별자치시 다정북로 **(다정동, 가온마을단지) 김현창 / 세종특별자치시 도움로 (종촌동) 김경록 / 대전광역시 유성구 테크노중앙로 (관평동) 김재영 / 대전광역시 유성구 대학로 ** (봉명동)
출원인 / 주소	한국기계연구원 / 대전광역시 유성구 가정북로 *** (장동)
대리인 / 주소	특허법인(유)화우
심사청구여부	있음 (2020-12-14)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 명세서에 개시된 기술은 마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지로서, 플랫폼의 이동 및 틸팅(tilting)을 위한 하나 이상의 Z축 선형 스테이지; 및 상기 플랫폼의 이동 및 틸팅을 가이드하도록 구성된 하나 이상의 Z/Tilt 플렉셔(flexures)를 포함하고, 상기 Z축 선형 스테이지는: 본체(body); 상기 Z축 선형 스테이지의 Z축 방향 외 이송을 제한하는 Z축 가이드 플렉셔; 및 상기 Z축 선형 스테이지에 구동력을 인가하는 구동부를 포함할 수 있다.

대표청구항

마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지로서,플랫폼의 이동 및 틸팅(tilting)을 위한 하나 이상의 Z축 선형 스테이지; 및상기 플랫폼의 이동 및 틸팅을 가이드하도록 구성된 하나 이상의 탄성 변형이 되도록 구성된 Z/Tilt 플렉셔(flexures)를 포함하고,상기 Z축 선형 스테이지는:본체(body);상기 Z축 선형 스테이지의 Z축 방향 외 이송을 제한하는 탄성 변형이 되도록 구성된 Z축 가이드 플렉셔; 및상기 Z축 선형 스테이지에 구동력을 인가하는 구동부를 포함하는,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2) 인용/피인용 타임라인 분석

[일본] FINELY ADJUSTABLE STAGE APPARATUS | HORIUCHI MASAHIKO, TOMITA YOSHIYUKI
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[일본] TILT STAGE | KIMURA YOSHIHIRO
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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