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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0178545 (2020-12-18) | |
공개번호 | 10-2022-0087970 (2022-06-27) | |
등록번호 | 10-2545659-0000 (2023-06-15) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200178545 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-12-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 플라즈마 CVD에 의해 다이아몬드를 결함이 없으면서도 대면적, 고속으로 성장시키는 방법에 관계된다. 상기 다이아몬드 합성 방법은 탄화수소 및 수소 각각에 대한 유량과 플라즈마 활성화가 독립적으로 제어되되, 탄화수소 및 수소 각각에 대한 공급 유량은 공정시간 단위에서 소정의 사이클릭 패턴을 갖는 것을 특징으로 한다. 이러한 플라즈마 CVD에 따르면, 복수의 반응가스 각각에 대한 플라즈마 활성화 과정을 독립적으로 수행하는 한편 복수의 반응가스 각각에 대한 공정시간 단위에서의 유량을 소정의 사이클릭 패턴으로 수행하는 방식으로
탄화수소 및 수소를 포함하는 복수의 반응가스를 공급하고, 상기 복수의 반응가스를 여기해 발생되는 플라즈마를 이용해 기판상에 화학기상증착하는 방식으로 수행되는 다이아몬드를 합성하는 방법에 있어서, 상기 탄화수소 및 수소 각각에 대한 유량과 플라즈마 활성화가 독립적으로 제어되되, 상기 탄화수소 및 수소 각각에 대한 공급 유량은 공정시간 단위에서 소정의 사이클릭 패턴을 갖는 것으로,상기 사이클릭 패턴에서 수소의 공급은, 제1시간 동안 미리 설정된 상한의 유량으로 수소가 공급되는 제1수소공급과정과, 제2시간 동안 미리 설정된 하한의 유량으
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