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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0180429 (2020-12-22) | |
등록번호 | 10-2287443-0000 (2021-08-03) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200180429 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-12-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정전척에 장착되는 히터의 온도를 효율적으로 제어하기 위한 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 관한 것으로서,정전기력에 의해 공정챔버 내의 웨이퍼를 고정시키는 정전척에 장착된 히터의 온도를 제어하기 위한 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 있어서, 상기 온도 제어 시스템은, 병렬로 연결되어 AC전원이 인가되는 SCR1과 SCR2; 상기 SCR1과 연결되는 제1히터부; 상기 SCR2와 연결되어 AC전원이 정류되어 DC 전원이 인가되는 제2히터부; 및 상기 제1히터
정전기력에 의해 공정챔버 내의 웨이퍼를 고정시키는 정전척에 장착된 히터의 온도를 제어하기 위한 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 있어서,상기 온도 제어 시스템은,병렬로 연결되어 AC전원이 인가되는 SCR1과 SCR2;상기 SCR1과 연결되는 제1히터부;상기 SCR2와 연결되어 상기 SCR2로부터 일정한 AC 전원을 인가받아 DC 전원으로 정류하는 제2 AC/DC 정류기와, 상기 제2 AC/DC 정류기로부터 전송된 DC 전원이 인가되는 저항(R21)을 가지는 제2히터와, 상기 제2히터와 직렬로 연결되는 일정저항(R22)을 가지는 제2
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