초록 ▼

본 발명은 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정전척에 장착되는 히터의 온도를 효율적으로 제어하기 위한 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 관한 것으로서,정전기력에 의해 공정챔버 내의 웨이퍼를 고정시키는 정전척에 장착된 히터의 온도를 제어하기 위한 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 있어서, 상기 온도 제어 시스템은, 병렬로 연결되어 AC전원이 인가되는 SCR1과 SCR2; 상기 SCR1과 연결되는 제1히터부; 상기 SCR2와 연결되어 AC전원이 정류되어 DC 전원이 인가되는 제2히터부; 및 상기 제1히터

본 발명은 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정전척에 장착되는 히터의 온도를 효율적으로 제어하기 위한 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 관한 것으로서,정전기력에 의해 공정챔버 내의 웨이퍼를 고정시키는 정전척에 장착된 히터의 온도를 제어하기 위한 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 있어서, 상기 온도 제어 시스템은, 병렬로 연결되어 AC전원이 인가되는 SCR1과 SCR2; 상기 SCR1과 연결되는 제1히터부; 상기 SCR2와 연결되어 AC전원이 정류되어 DC 전원이 인가되는 제2히터부; 및 상기 제1히터부와 상기 제2히터부에서 전송되는 측정신호를 이용하여 상기 SCR1과 상기 SCR2를 제어하는 제어부;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척 히터의 온도 제어 시스템을 제공한다.

대표청구항 ▼

정전기력에 의해 공정챔버 내의 웨이퍼를 고정시키는 정전척에 장착된 히터의 온도를 제어하기 위한 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 있어서,상기 온도 제어 시스템은,병렬로 연결되어 AC전원이 인가되는 SCR1과 SCR2;상기 SCR1과 연결되는 제1히터부;상기 SCR2와 연결되어 상기 SCR2로부터 일정한 AC 전원을 인가받아 DC 전원으로 정류하는 제2 AC/DC 정류기와, 상기 제2 AC/DC 정류기로부터 전송된 DC 전원이 인가되는 저항(R21)을 가지는 제2히터와, 상기 제2히터와 직렬로 연결되는 일정저항(R22)을 가지는 제2

정전기력에 의해 공정챔버 내의 웨이퍼를 고정시키는 정전척에 장착된 히터의 온도를 제어하기 위한 정전척 히터의 온도 제어 시스템에 있어서,상기 온도 제어 시스템은,병렬로 연결되어 AC전원이 인가되는 SCR1과 SCR2;상기 SCR1과 연결되는 제1히터부;상기 SCR2와 연결되어 상기 SCR2로부터 일정한 AC 전원을 인가받아 DC 전원으로 정류하는 제2 AC/DC 정류기와, 상기 제2 AC/DC 정류기로부터 전송된 DC 전원이 인가되는 저항(R21)을 가지는 제2히터와, 상기 제2히터와 직렬로 연결되는 일정저항(R22)을 가지는 제2션트저항과, 상기 제2히터와 상기 제2션트저항에 인가된 DC 전원의 전압을 측정하기 위한 제2전압측정회로부로 구성되는 제2히터부; 및상기 제1히터부와 상기 제2히터부에서 전송되는 측정신호를 이용하여 상기 SCR1과 상기 SCR2를 제어하는 제어부;로 이루어지고 것을 특징으로 하는 정전척 히터의 온도 제어 시스템.