초록 ▼

본 발명은 진공 코팅 공정을 수행하기 위한 진공 코팅 챔버를 포함하는 코팅 장치에 관한 것으로, 상기 진공 코팅 챔버는, - 내부 측면(1b) 및 냉각된 측면(1a)을 갖는 하나 이상의 냉각된 챔버 벽(1), - 하나 이상의 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b)의 표면의 적어도 일부를 덮는, 하나 이상의 제거 가능한 차폐 플레이트(2)로서 챔버의 내부에 배치되는 보호 쉴드를 포함하며, 적어도 하나의 제거 가능한 차폐 플레이트(2)는 상기 제거 가능한 차폐 플레이트(2)에 의해 덮인 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b)의 표면

본 발명은 진공 코팅 공정을 수행하기 위한 진공 코팅 챔버를 포함하는 코팅 장치에 관한 것으로, 상기 진공 코팅 챔버는, - 내부 측면(1b) 및 냉각된 측면(1a)을 갖는 하나 이상의 냉각된 챔버 벽(1), - 하나 이상의 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b)의 표면의 적어도 일부를 덮는, 하나 이상의 제거 가능한 차폐 플레이트(2)로서 챔버의 내부에 배치되는 보호 쉴드를 포함하며, 적어도 하나의 제거 가능한 차폐 플레이트(2)는 상기 제거 가능한 차폐 플레이트(2)에 의해 덮인 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b)의 표면과 관련하여 갭(8)을 형성하도록 배치되며, - 상기 제거 가능한 차폐 플레이트(2)에 의해 덮인 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b)의 전체 표면의 적어도 일부에 대응하는 연장부에서 갭(8)을 채우도록 열 전도성 수단(9)이 배치되고, 열 전도성 수단(9)은 상기 제거 가능한 차폐 플레이트(2)와 각각의 덮인 냉각된 챔버 벽(1) 사이의 전도성 열 전달을 가능하게 한다.

대표청구항 ▼

진공 코팅 공정을 수행하기 위한 진공 코팅 챔버를 포함하는 코팅 장치로,상기 진공 코팅 챔버는,- 내부 측면(1b) 및 냉각된 측면(1a)을 갖는 하나 이상의 냉각된 챔버 벽(1),- 하나 이상의 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b)의 표면의 적어도 일부를 덮는, 하나 이상의 제거 가능한 차폐 플레이트(2)로서 챔버의 내부에 배치되는 보호 쉴드를 포함하며,적어도 하나의 제거 가능한 차폐 플레이트(2)는 상기 제거 가능한 차폐 플레이트(2)에 의해 덮인 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b)의 표면과 관련하여 갭(8)을 형성하도

진공 코팅 공정을 수행하기 위한 진공 코팅 챔버를 포함하는 코팅 장치로,상기 진공 코팅 챔버는,- 내부 측면(1b) 및 냉각된 측면(1a)을 갖는 하나 이상의 냉각된 챔버 벽(1),- 하나 이상의 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b)의 표면의 적어도 일부를 덮는, 하나 이상의 제거 가능한 차폐 플레이트(2)로서 챔버의 내부에 배치되는 보호 쉴드를 포함하며,적어도 하나의 제거 가능한 차폐 플레이트(2)는 상기 제거 가능한 차폐 플레이트(2)에 의해 덮인 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b)의 표면과 관련하여 갭(8)을 형성하도록 배치되는, 코팅 장치에 있어서,- 상기 제거 가능한 차폐 플레이트(2)에 의해 덮인 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b)의 전체 표면의 적어도 일부에 대응하는 연장부에서 갭(8)을 채우도록 열 전도성 수단(9)이 배치되고, 열 전도성 수단(9)은 상기 제거 가능한 차폐 플레이트(2)와 각각의 덮인 냉각된 챔버 벽(1) 사이의 전도성 열 전달을 가능하게 하고,상기 열 전도성 수단(9)은,- 각각의 덮인 냉각된 챔버 벽(1a)의 내부 측면(1b)과 대면하는 차폐 플레이트(2)의 측면 상의 차폐 접촉 표면(A)에 배치되는 적어도 하나의 차폐 상승면(9a) 및/또는 각각의 덮인 냉각된 챔버 벽(1)의 내부 측면(1b) 상의 벽 접촉 표면(B)에 배치되는 적어도 하나의 벽 상승면(9b),- 차폐 상승면(9a) 및/또는 벽 상승면(9b)으로 채워지지 않는, 차폐 접촉 표면(A)과 벽 접촉 표면(B) 사이의 갭(8)의 나머지를 채우고, 차폐 접촉 표면(A)과 벽 접촉 표면(B) 사이의 전도성 열 전달을 위해 열적 인터페이스를 형성하도록 배치되는 열 브리지 재료(9c)를 포함하며,상기 열 브리지 재료(9c)는 카본 포일인 것을 특징으로 하는 코팅 장치.