초록 ▼

기판 검사 장치가 개시된다.기판 검사 장치는, 제1 기판에 대한 이미지를 이용하여, 이상이 감지된 복수의 제2 솔더 페이스트를 나타내는 적어도 하나의 이미지를 생성하고, 생성된 적어도 하나의 이미지를 머신-러닝 기반 모델에 적용하고, 머신-러닝 기반 모델로부터, 스크린 프린터의 복수의 제1 결함 유형의 각각과 적어도 하나의 이미지와의 관련성을 나타내는 복수의 제1 값 및 복수의 제1 결함 유형 중 하나의 결함 유형과 관련된 영역을 나타내는 복수의 제1 이미지를 획득하고, 획득된 복수의 제1 값 및 복수의 제1 이미지를 이용하여, 복

기판 검사 장치가 개시된다.기판 검사 장치는, 제1 기판에 대한 이미지를 이용하여, 이상이 감지된 복수의 제2 솔더 페이스트를 나타내는 적어도 하나의 이미지를 생성하고, 생성된 적어도 하나의 이미지를 머신-러닝 기반 모델에 적용하고, 머신-러닝 기반 모델로부터, 스크린 프린터의 복수의 제1 결함 유형의 각각과 적어도 하나의 이미지와의 관련성을 나타내는 복수의 제1 값 및 복수의 제1 결함 유형 중 하나의 결함 유형과 관련된 영역을 나타내는 복수의 제1 이미지를 획득하고, 획득된 복수의 제1 값 및 복수의 제1 이미지를 이용하여, 복수의 제2 솔더 페이스트와 관련된 복수의 제2 결함 유형을 결정하고, 복수의 제2 결함 유형 각각과 관련된 적어도 하나의 제3 솔더 페이스트를 결정할 수 있다.

대표청구항 ▼

기판을 검사하는 장치에 있어서,스크린 프린터의 복수의 제1 결함 유형에 따라 분류된 이상이 감지된 복수의 솔더 페이스트를 나타내는 이미지를 입력하여, 상기 스크린 프린터의 복수의 제1 결함 유형의 각각과 상기 이상이 감지된 복수의 솔더 페이스트를 나타내는 이미지와의 관련성을 나타내는 복수의 값, 및 상기 복수의 제1 결함 유형 중 하나의 결함 유형과 관련된 영역을 나타내는 복수의 이미지를 출력하도록 학습된 머신-러닝 기반 모델을 저장하는 메모리 - 상기 스크린 프린터의 복수의 제1 결함 유형은 상기 기판에 인쇄된 솔더 페이스트의 이

기판을 검사하는 장치에 있어서,스크린 프린터의 복수의 제1 결함 유형에 따라 분류된 이상이 감지된 복수의 솔더 페이스트를 나타내는 이미지를 입력하여, 상기 스크린 프린터의 복수의 제1 결함 유형의 각각과 상기 이상이 감지된 복수의 솔더 페이스트를 나타내는 이미지와의 관련성을 나타내는 복수의 값, 및 상기 복수의 제1 결함 유형 중 하나의 결함 유형과 관련된 영역을 나타내는 복수의 이미지를 출력하도록 학습된 머신-러닝 기반 모델을 저장하는 메모리 - 상기 스크린 프린터의 복수의 제1 결함 유형은 상기 기판에 인쇄된 솔더 페이스트의 이상을 초래할 수 있는 결함 유형임 -; 및상기 메모리와 전기적으로 연결된 프로세서를 포함하고,상기 프로세서는,제1 기판에 대한 이미지에 기초하여, 상기 제1 기판에 인쇄된 복수의 제1 솔더 페이스트 중 복수의 제2 솔더 페이스트의 이상이 감지되면, 상기 제1 기판에 대한 이미지를 이용하여, 상기 복수의 제2 솔더 페이스트를 나타내는 적어도 하나의 이미지를 생성하고,상기 생성된 적어도 하나의 이미지를 상기 머신-러닝 기반 모델에 입력하고,상기 머신-러닝 기반 모델로부터, 상기 복수의 제1 결함 유형의 각각과 상기 적어도 하나의 이미지와의 관련성을 나타내는 복수의 제1 값 및 상기 복수의 제1 결함 유형 중 하나의 결함 유형과 관련된 영역을 나타내는 복수의 제1 이미지를 획득하고,상기 획득된 복수의 제1 값에 기초하여, 상기 복수의 제1 결함 유형 중 상기 복수의 제2 솔더 페이스트와 관련된 복수의 제2 결함 유형을 결정하고,상기 복수의 제1 이미지 중 상기 복수의 제2 결함 유형에 대응되는 복수의 제2 이미지에 기초하여, 상기 복수의 제2 솔더 페이스트 중 상기 복수의 제2 결함 유형 각각과 관련된 적어도 하나의 제3 솔더 페이스트를 결정하는, 기판 검사 장치.