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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7016639 (2020-06-10) | |
공개번호 | 10-2020-0118791 (2020-10-16) | |
등록번호 | 10-2532521-0000 (2023-05-10) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-025797 (2018-02-16) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/001345 (2019-01-17) | |
국제공개번호 | WO 2019/159597 (2019-08-22) | |
번역문제출일자 | 2020-06-10 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207016639 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-08-04) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
불순물 농도를 계측하는 농도 측정 방법으로서, 측정 대상물인 DUT(10)를 향하여, 계측광과 기정 주파수를 포함하는 변조 신호로 강도 변조된 자극광을 조사하는 스텝과, DUT(10)로부터의 반사광 혹은 투과광의 강도를 검출하여 검출 신호를 출력하는 스텝과, 변조 신호에 대한 검출 신호의 위상 지연을 검출하고, 위상 지연이 소정값이 되는 주파수를 구하고, 해당 주파수를 기초로 측정 대상물의 불순물 농도를 추정하는 스텝을 구비한다.
측정 대상물의 불순물 농도를 계측하는 농도 측정 방법으로서,상기 측정 대상물을 향하여, 계측광과, 기정 주파수를 포함하는 변조 신호로 강도 변조된 자극광을 조사하는 조사 스텝과,상기 측정 대상물로부터의 반사광 혹은 투과광의 강도를 검출하여 검출 신호를 출력하는 출력 스텝과,상기 변조 신호에 대한 상기 검출 신호의 위상 지연을 검출하고, 상기 위상 지연이 소정값이 되는 주파수를 구하고, 해당 주파수를 기초로 상기 측정 대상물의 불순물 농도를 추정하는 추정 스텝을 구비하는 농도 측정 방법.
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