초록 ▼

기판의 상면에 있어서의 가공용 레이저 광선의 조사점의 연직 방향 위치를 측정하는 높이 측정부와, 상기 기판의 상면에 있어서의 복수의 분할 예정선 상에서 상기 조사점을 이동시키면서, 상기 조사점의 연직 방향 위치에 기초하여 집광부의 연직 방향 위치를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 높이 측정부는 동축 레이저 변위계와 별축 레이저 변위계를 가지고, 상기 제어부는, 하나의 상기 기판을 상기 가공용 레이저 광선으로 가공하는 동안에, 분할 예정선마다 상기 동축 레이저 변위계와 상기 별축 레이저 변위계 중 어느 일방만을 이용하여 상기 집광부

기판의 상면에 있어서의 가공용 레이저 광선의 조사점의 연직 방향 위치를 측정하는 높이 측정부와, 상기 기판의 상면에 있어서의 복수의 분할 예정선 상에서 상기 조사점을 이동시키면서, 상기 조사점의 연직 방향 위치에 기초하여 집광부의 연직 방향 위치를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 높이 측정부는 동축 레이저 변위계와 별축 레이저 변위계를 가지고, 상기 제어부는, 하나의 상기 기판을 상기 가공용 레이저 광선으로 가공하는 동안에, 분할 예정선마다 상기 동축 레이저 변위계와 상기 별축 레이저 변위계 중 어느 일방만을 이용하여 상기 집광부의 연직 방향 위치를 제어하고, 또한 상기 집광부의 연직 방향 위치의 제어에 이용하는 레이저 변위계를 상기 동축 레이저 변위계와 상기 별축 레이저 변위계와의 사이에서 전환하는, 레이저 가공 장치를 제공한다.

대표청구항 ▼

기판을 하방으로부터 수평으로 유지하는 기판 유지부와,상기 기판을 가공하는 가공용 레이저 광선을 발진하는 가공용 레이저 발진부와,상기 기판 유지부에 유지되어 있는 상기 기판의 상면에 있어서의 상기 가공용 레이저 광선의 조사점을 이동시키는 조사점 이동부와,상기 조사점의 연직 방향 위치를 측정하는 높이 측정부와,상기 조사점의 상방으로부터 하방을 향해 상기 가공용 레이저 광선을 집광하는 집광부와,상기 집광부를 연직 방향으로 이동시키는 집광부 이동부와,상기 기판의 상면에 있어서의 복수의 분할 예정선 상에서 상기 조사점을 이동시키면서, 상기

기판을 하방으로부터 수평으로 유지하는 기판 유지부와,상기 기판을 가공하는 가공용 레이저 광선을 발진하는 가공용 레이저 발진부와,상기 기판 유지부에 유지되어 있는 상기 기판의 상면에 있어서의 상기 가공용 레이저 광선의 조사점을 이동시키는 조사점 이동부와,상기 조사점의 연직 방향 위치를 측정하는 높이 측정부와,상기 조사점의 상방으로부터 하방을 향해 상기 가공용 레이저 광선을 집광하는 집광부와,상기 집광부를 연직 방향으로 이동시키는 집광부 이동부와,상기 기판의 상면에 있어서의 복수의 분할 예정선 상에서 상기 조사점을 이동시키면서, 상기 조사점의 연직 방향 위치에 기초하여 상기 집광부의 연직 방향 위치를 제어하는 제어부를 구비하고,상기 높이 측정부는,상기 가공용 레이저 광선과는 상이한 파장을 가지고 또한 상기 가공용 레이저 광선의 경로의 도중에 마련되는 다이크로익 미러로부터 상기 기판의 상기 상면까지 상기 가공용 레이저 광선과 동일한 경로를 가지는 제 1 측정용 레이저 광선을 상기 기판의 상기 상면에 조사하고, 그 반사광을 수광함으로써, 상기 조사점의 연직 방향 위치를 측정하는 동축 레이저 변위계와,상기 가공용 레이저 광선 및 상기 제 1 측정용 레이저 광선과는 상이한 파장 및 상이한 경로를 가지는 제 2 측정용 레이저 광선을 상기 기판의 상기 상면에 조사하고, 그 반사광을 수광함으로써, 상기 조사점의 연직 방향 위치를 측정하는 별축 레이저 변위계를 가지고,상기 제어부는, 하나의 상기 기판을 상기 가공용 레이저 광선으로 가공하는 동안에, 분할 예정선마다 상기 동축 레이저 변위계와 상기 별축 레이저 변위계 중 어느 일방만을 이용하여 상기 집광부의 연직 방향 위치를 제어하고, 또한 상기 집광부의 연직 방향 위치의 제어에 이용하는 레이저 변위계를 상기 동축 레이저 변위계와 상기 별축 레이저 변위계와의 사이에서 전환하는, 레이저 가공 장치.