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[한국특허] 스트레인드 채널 성장 구조, 및 그를 이용한 스트레인드 채널 및 소자 제조 방법
GROWTH STRUCTURE FOR STRAINED CHANNEL, AND METHODS FOR MANUFACTURING STRAINED CHANNEL AND DEVICE USING THE SAME
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-029/10
  • H01L-029/78
출원번호 10-2021-0000429 (2021-01-04)
공개번호 10-2022-0098580 (2022-07-12)
등록번호 10-2446604-0000 (2022-09-20)
DOI http://doi.org/10.8080/1020210000429
발명자 / 주소
  • 김상현 / 대전광역시 유성구 대학로 *** (구성동, 한국과학기술원)
  • 임형락 / 대전광역시 유성구 대학로 *** (구성동, 한국과학기술원)
출원인 / 주소
  • 한국과학기술원 / 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
대리인 / 주소
  • 양성보
심사청구여부 있음 (2021-01-04)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

다양한 실시예들은 스트레인드 채널 성장 구조, 및 그를 이용한 스트레인드 채널 및 소자 제조 방법에 관한 것으로, 스트레인드 채널 성장 구조는 지지 기판, 지지 기판 상에 배치되는 스트레인-완화층, 스트레인-완화층 상에 일 조성을 갖도록 성장되는 베이스 성장층, 및 베이스 성장층 상에 다른 조성을 갖도록 성장되는 스트레인드 채널층을 포함하고, 스트레인드 채널층은, 인장-스트레인드 채널층 또는 압축-스트레인드 채널층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.

대표청구항

스트레인드 채널 성장 구조에 있어서, 지지 기판; 상기 지지 기판 상에 배치되는 스트레인-완화층; 상기 스트레인-완화층 상에 일 조성을 갖도록 성장되는 베이스 성장층; 및상기 베이스 성장층 상에 다른 조성을 갖도록 성장되는 스트레인드 채널층을 포함하고,상기 스트레인드 채널층은, 인장-스트레인드 채널층 또는 압축-스트레인드 채널층 중 적어도 하나를 포함하고,상기 스트레인드 채널층은,상기 베이스 성장층과 상기 압축-스트레인드 채널층 사이에 개재되는 식각-스탑층을 더 포함하는, 성장 구조.

이 특허에 인용된 특허 (3) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. [한국] 질화물 반도체 소자의 제조방법 및 질화물 반도체 소자 | 나가하마신이치, 사노마사히코, 야나모토도모야, 사카모토게이지, 야마모토마사시, 모리타다이스케
  2. [한국] 반도체 장치 및 그 제조 방법 | 우스다 고지, 데즈까 쯔또무
  3. [한국] 반도체 기판 및 이를 포함하는 반도체 장치 | 양문승, 최은혜, 김선정, 이승훈, 이현정

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