최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2021-0028906 (2021-03-04) | |
공개번호 | 10-2021-0032336 (2021-03-24) | |
등록번호 | 10-2476418-0000 (2022-12-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210028906 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2021-03-04) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 정밀측정용 계측장비를 이용한 계측 진행시 외부 전자기장의 간섭을 차단할 수 있는 전자기 차폐부를 구비한 글러브박스에 관한 것이다. 본 발명의 전자기 차폐부를 구비한 글러브박스는 시료 처리 이후 글러브박스 내에 측정장비에서 측정을 시작하기 전에 글러브박스 전면을 차폐부로 막거나, 글로브 박스의 투명창 재질을 차폐 가능한 전도성 유리나 플라스틱을 이용하여 제작하여 사용함으로써 외부의 전자기파 노이즈를 차단하여전자기파의 간섭이 없는 신뢰성 있는 미세 측정 결과를 얻을 수 있다.
전자기 차폐부를 구비한 글러브박스로:상기 글러브박스는 전면에 장갑 및 투명창을 구비하고 밀폐된 글러브 박스 형태의 본체;상기 본체 내부에 위치하는 계측 장비 거치대; 및,상기 투명창을 덮는 개폐식 전자기 차폐부를 구비하고,상기 본체의 재질은 전자기 차폐가 가능한 전기 전도성 물질이고,상기 상기 거치대에 거치되는 계측 장비는 샘플 접촉식 측정 장비로,상기 샘플 접촉식 측정 장비는 주사형 탐침 현미경(Scanning Probe Microscope), 프로브 스테이션(probe station) 또는 프로파일러(Profiler)이고,상기
해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.