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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0029629 (2021-03-05) | |
공개번호 | 10-2021-0028634 (2021-03-12) | |
등록번호 | 10-2367530-0000 (2022-02-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210029629 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-03-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
액적 제거 효율이 향상된 클리닝 기기가 개시된다. 상기 클리닝 기기는 기판, 상기 기판 위에 특정 간격을 가지고 배열된 전극들 및 상기 전극들 위에 형성된 절연막을 포함한다. 여기서, 상기 전극들 중 제 1 전극으로 제 1 전기 신호가 인가되고, 제 2 전극으로 제 2 전기 신호가 인가되며, 제 3 전극으로 제 3 전기 신호가 인가된다. 또한, 상기 전극들은 단층에 배열되고, 상기 제 1 전기 신호 내지 상기 제 3 전기 신호의 위상, 진폭 또는 주파수 중 적어도 하나가 다르며, 상기 전기 신호들이 상기 전극들로 인가됨에 따라 상기
클리닝 기기에 있어서, 기판; 상기 기판 위에 배열된 제 1 전극들 및 상기 제 1 전극들을 덮는 제 1 절연막을 가지는 제 1 층; 상기 제 1 절연막 위에 배열된 제 2 전극들 및 상기 제 2 전극들을 덮는 제 2 절연막을 가지는 제 2층; 및상기 제 2 절연막 위에 배열된 제 3 전극들 및 상기 제 3 전극들을 덮는 제 3 절연막을 가지는 제 3층을 포함하며,상기 제 1 전극들로 제 1 전기 신호가 인가되고, 상기 제 2 전극들로 제 2 전기 신호가 인가되며, 상기 제 3 전극들로 제 3 전기 신호가 인가되되,상기 제 1 전기
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