초록 ▼

본 명세서에 개시된 기술은 복수의 필터를 포함하여 위상 중첩을 통해 파동을 집속 시키는 파동 집속 장치에 관한 것으로, 기판 상에 형성된 제1 필터; 상기 기판 상에 형성되고, 상기 제1 필터와 제1 영역에서 중첩되는 제2 필터; 및 상기 기판 상에 형성되고, 상기 제2 필터와 제2 영역에서 중첩되는 제3 필터를 포함하고, 상기 제1 영역의 크기는 상기 제2 영역의 크기와 동일하고, 상기 제1 영역에 포함된 상기 제2 필터의 제1 부분은 상기 제2 영역에 포함된 상기 제2 필터의 제2 부분과 일축을 기준으로 반전되어 있으며, 상기

본 명세서에 개시된 기술은 복수의 필터를 포함하여 위상 중첩을 통해 파동을 집속 시키는 파동 집속 장치에 관한 것으로, 기판 상에 형성된 제1 필터; 상기 기판 상에 형성되고, 상기 제1 필터와 제1 영역에서 중첩되는 제2 필터; 및 상기 기판 상에 형성되고, 상기 제2 필터와 제2 영역에서 중첩되는 제3 필터를 포함하고, 상기 제1 영역의 크기는 상기 제2 영역의 크기와 동일하고, 상기 제1 영역에 포함된 상기 제2 필터의 제1 부분은 상기 제2 영역에 포함된 상기 제2 필터의 제2 부분과 일축을 기준으로 반전되어 있으며, 상기 파동 집속 장치를 통과한 파동은 상기 제1, 제2 및 제3 필터의 중심에 대응되는 위치에 집속될 수 있다.

대표청구항 ▼

복수의 필터를 포함하여 위상 중첩을 통해 파동을 집속 시키는 파동 집속 장치에 있어서,기판 상에 형성된 제1 필터;상기 기판 상에 형성되고, 상기 제1 필터와 제1 영역에서 중첩되는 제2 필터; 및상기 기판 상에 형성되고, 상기 제2 필터와 제2 영역에서 중첩되는 제3 필터를 포함하고,상기 제1 영역의 크기는 상기 제2 영역의 크기와 동일하고,상기 제1 영역에 포함된 상기 제2 필터의 제1 부분은 상기 제2 영역에 포함된 상기 제2 필터의 제2 부분과 일축을 기준으로 반전되어 있으며,상기 파동 집속 장치를 통과한 파동은 상기 제1,

복수의 필터를 포함하여 위상 중첩을 통해 파동을 집속 시키는 파동 집속 장치에 있어서,기판 상에 형성된 제1 필터;상기 기판 상에 형성되고, 상기 제1 필터와 제1 영역에서 중첩되는 제2 필터; 및상기 기판 상에 형성되고, 상기 제2 필터와 제2 영역에서 중첩되는 제3 필터를 포함하고,상기 제1 영역의 크기는 상기 제2 영역의 크기와 동일하고,상기 제1 영역에 포함된 상기 제2 필터의 제1 부분은 상기 제2 영역에 포함된 상기 제2 필터의 제2 부분과 일축을 기준으로 반전되어 있으며,상기 파동 집속 장치를 통과한 파동은 상기 제1, 제2 및 제3 필터의 중심에 집속되는파동 집속 장치.