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초고순도 불화수소의 정제방법 및 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C01B-007/19
  • B01D-003/14
출원번호 10-2021-0072104 (2021-06-03)
등록번호 10-2310763-0000 (2021-10-01)
DOI http://doi.org/10.8080/1020210072104
발명자 / 주소
  • 길준잉 / 서울특별시 성동구 왕십리로 ***, ***동 ****호 (행당동, 서울숲더샵)
  • 장용수 / 경기도 화성시 동탄대로**길 **, 동탄더샵레이크에듀타운 ****동 ****호
  • 이환평 / 대전광역시 동구 대학로**번길 **, ***동 ****호(용운동, 한화꿈에그린아파트)
출원인 / 주소
  • 램테크놀러지 주식회사 / 경기도 용인시 처인구 양지면 주북로 ***
대리인 / 주소
  • 김병필
심사청구여부 있음 (2021-06-03)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 불화수소 대신 조 불화수소를 그대로 다단 증류탑에 투입하여 연속 증류 공정을 통해 정제하되, 불순물인 비소 불화물의 함량에 따라 F2가스의 농도가 자동 제어된 불소 가스와의 접촉을 통해 불화수소 내 불순물을 제거하는 초고순도 불화수소의 정제방법 및 장치를 개시한다.

대표청구항

원료 공급부로부터 조(crude) 불화수소를 제공하는 단계;상기 조 불화수소를 다단 증류탑에 공급하여 분별 증류 후 상기 증류탑 내 불순물을 추출 제거하고, 증류된 불화수소는 다음 다단 증류탑으로 이송하는 연속식 증류 공정을 수행하는 단계; 및 상기 조 불화수소가 투입된 다단 증류탑에 불순물 내 AsF3의 제거를 위한 F2가스와 불활성 가스를 포함하는 가스 스트림을 주입하는 단계;를 포함하고, 상기 가스 스트림은 상기 다단 증류탑을 통과한 불화수소 가스 내 함유된 AsF3의 함량에 따라 농도가 조절된 것을 사용하고,상기 F2가스와

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 불산 용액에서의 휘발성 물질의 정제 방법 | 길준잉, 김홍달, 허용우, 박정준, 윤재만, 김은영, 장용수, 김민수
  2. [일본] METHOD AND APPARATUS FOR REFINING HYDROFLUORIC ACID | IZUMI HIROTO, IMAFUKU YUJI, ISHIZAKI KENICHI
  3. [일본] METHOD OF PURIFYING HYDROFLUORIC ACID | MIKI MASAHIRO
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