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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0072104 (2021-06-03) | |
등록번호 | 10-2310763-0000 (2021-10-01) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210072104 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-06-03) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 불화수소 대신 조 불화수소를 그대로 다단 증류탑에 투입하여 연속 증류 공정을 통해 정제하되, 불순물인 비소 불화물의 함량에 따라 F2가스의 농도가 자동 제어된 불소 가스와의 접촉을 통해 불화수소 내 불순물을 제거하는 초고순도 불화수소의 정제방법 및 장치를 개시한다.
원료 공급부로부터 조(crude) 불화수소를 제공하는 단계;상기 조 불화수소를 다단 증류탑에 공급하여 분별 증류 후 상기 증류탑 내 불순물을 추출 제거하고, 증류된 불화수소는 다음 다단 증류탑으로 이송하는 연속식 증류 공정을 수행하는 단계; 및 상기 조 불화수소가 투입된 다단 증류탑에 불순물 내 AsF3의 제거를 위한 F2가스와 불활성 가스를 포함하는 가스 스트림을 주입하는 단계;를 포함하고, 상기 가스 스트림은 상기 다단 증류탑을 통과한 불화수소 가스 내 함유된 AsF3의 함량에 따라 농도가 조절된 것을 사용하고,상기 F2가스와
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