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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0095115 (2021-07-20) | |
공개번호 | 10-2021-0093224 (2021-07-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210095115 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 수지에 기포가 생성되는 것을 방지하여 양품의 패턴이 형성된 기판을 제공할 수 있는 임프린팅 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 일면에 패턴이 형성되고 일방향으로 이동되는 소프트 몰드, 소프트 몰드의 일면에 수지를 공급하는 수지 공급부, 공급된 수지가 기판의 상면에 접하도록 소프트 몰드의 타면을 가압하는 가압롤러를 포함하는 임프린팅 장치를 제공한다. 또한, 본 발명은 소프트 몰드의 일면에 직접 수지를 공급하고, 수지가 공급된 소프트 몰드를 기판에 수지가 접하도록 가압한 후 수지를 경화시키는 임프린팅 방법을
일면에 패턴부(111)가 형성되는 소프트 몰드(110);상기 소프트 몰드(110)의 패턴부(111)가 형성된 일면에 수지(120)를 공급하는 수지 공급부(400);공급된 상기 수지(120)가 기판(S)의 상면에 접하도록 상기 소프트 몰드(110)의 타면을 가압하는 가압롤러(230);를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
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