[특허]액정을 이용한 표면 분석 방법

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[한국특허] 액정을 이용한 표면 분석 방법
Method for detection and diagnosis of surface patterns using liquid crystals 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G01B-011/30 G01J-001/04 G01N-021/95 G01N-021/956 G01N-021/958
출원번호	10-2021-0095356 (2021-07-21)
공개번호	10-2022-0012820 (2022-02-04)
등록번호	10-2532902-0000 (2023-05-11)
우선권정보	대한민국(KR) 1020200091448 (2020-07-23)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020210095356
발명자 / 주소	김영기 / 경상북도 포항시 남구 지곡로 **, 동 **호 노용영 / 대전광역시 유성구 배울로 , 동 호 김원식 / 광주광역시 서구 치평로 , *동 **호
출원인 / 주소	포항공과대학교 산학협력단 / 경상북도 포항시 남구 청암로 ** (지곡동)
대리인 / 주소	백두진; 유광철; 김정연; 강일신; 권성현
심사청구여부	있음 (2021-07-21)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명의 실시 예에 따른 표면 분석 방법은 나노 패턴이 형성된 기판 표면에 액정 분자를 포함하는 액정층을 도포하는 도포 단계; 편광현미경을 이용해 상기 기판을 스캐닝하는 스캐닝 단계; 및 상기 스캐닝 단계에서 관찰된 이미지를 분석하여, 상기 기판의 결함을 분석하는 분석 단계; 를 포함하는 표면 분석 방법을 개시한다.

대표청구항 ▼

나노 패턴이 형성된 기판 표면에 액정 분자를 포함하는 액정층을 도포하는 도포 단계;편광현미경을 이용해 상기 기판을 스캐닝하는 스캐닝 단계; 및상기 스캐닝 단계에서 관찰된 이미지를 분석하여, 상기 기판의 결함을 분석하는 분석 단계; 를 포함하고,상기 스캐닝 단계에서,상기 편광현미경은, 상기 기판으로 광을 조사하는 광원; 상기 기판을 투과한 광을 편광시키는 편광자; 상기 편광자에 의해 편광된 광을 관찰하는 현미경; 및 상기 현미경을 통해 관찰된 이미지를 출력하는 디스플레이를 포함하고,상기 스캐닝 단계는,상기 기판을 스캐닝하는 제1스캐닝 단계; 및 회전시킨 상기 기판을 스캐닝하는 제2스캐닝 단계; 를 포함하고,상기 분석 단계에서는,상기 제1스캐닝 단계에서 관찰된 이미지 및 상기 제2스캐닝 단계에서 관찰된 이미지가 동일한 경우, 상기 나노 패턴에 상기 액정 분자가 수직 배향한 것으로 분석하는 표면 분석 방법.

이 특허에 인용된 특허 (2)

[일본] METHOD FOR INSPECTING SUBSTRATE | KURAMATA OSAMU, SASAMOTO HIROKATA, SUGIHARA HIROKI
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[일본] LIQUID CRYSTAL ALIGNMENT FILM AND ITS EVALUATING METHOD | ITO NOBUYUKI, KOSHIKIYA YOSHITAKA, MUTSUKA YASUAKI
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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