$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

표면 세정 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/02
  • H01L-021/67
출원번호 10-2021-0109685 (2021-08-19)
공개번호 10-2022-0026500 (2022-03-04)
우선권정보 미국(US) 63/069,911 (2020-08-25);미국(US) 63/087,988 (2020-10-06);미국(US) 63/117,018 (2020-11-23)
DOI http://doi.org/10.8080/1020210109685
발명자 / 주소
  • 뎅 샤오렌 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 일리베리 안드레아 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 치아뻬 다니엘레 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 토이스 에바 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 베르니 쥬세뻬 알레씨오 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 기븐스 마이클 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 샤르마 바룬 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 주 치유 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 이와시타 신야 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 데젤라 찰스 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 마디왈라 비라지 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 마에스 얀 빌렘 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 투오미넨 마르코 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
  • 찬드라세카란 아니루단 / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
출원인 / 주소
  • 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. / 네덜란드 에이피 알메르 **** 베르스테르케르스트라아트 *
대리인 / 주소
  • 리앤목특허법인
법적상태 공개

초록

본 발명은 기판을 세정하는 방법에 관한 것이다. 기판은 유전체 표면 및 금속 표면을 포함한다.본 발명의 방법은 반응 챔버에 세정제를 제공하는 단계를 포함한다.

대표청구항 ▼

기판을 세정하기 위한 방법으로서, 상기 방법은,유전체 및 산화 금속 표면을 포함한 기판을 반응 챔버에 제공하는 단계;환원제를 상기 반응 챔버에 제공함으로써, 상기 기판을 상기 환원제와 접촉시키고 상기 산화 금속 표면을 금속 표면으로 변환시키는 단계;산화제를 상기 반응 챔버에 제공함으로써, 상기 기판을 상기 산화제와 접촉시키고, 상기 유전체 표면 상의 임의의 금속 오염물을 산화시켜서 산화된 금속 오염물을 형성하는 단계; 및세정제를 상기 반응 챔버에 제공함으로써, 상기 기판을 상기 세정제와 접촉시키고, 상기 기판으로부터 상기 산화된 금

발명자의 다른 특허 :

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로