초록

노즐에 노즐 필터를 결합함으로써, 증착물질 파티클이 노즐 밖으로 분사되는 것을 방지할 수 있는 진공 증발원을 제공하는 것이다. 상기 진공 증발원은 내부 공간부를 갖는 케이스, 내부 공간부에 배치되고, 제1 방향으로 길게 연장되고, 증착물질을 수용하는 도가니, 도가니의 일 단부에 배치되고, 증착물질이 지나는 출구를 갖는 노즐, 및 도가니 내에서 노즐의 하부에 배치되고, 노즐에 대해 상기 제1 방향으로 이동가능한 노즐 필터를 포함한다.

대표청구항 ▼

내부 공간부를 갖는 케이스;상기 내부 공간부에 배치되고, 제1 방향으로 길게 연장되고, 증착물질을 수용하는 도가니;상기 도가니의 일 단부에 배치되고, 상기 증착물질이 지나는 출구를 갖는 노즐; 상기 노즐의 내측면에 고정되고, 제1 이너 홀을 포함하는 제1 이너 플레이트; 및상기 도가니 내에서 상기 노즐의 하부에 배치되고, 상기 노즐에 대해 상기 제1 방향으로 이동 가능한 노즐 필터를 포함하고,상기 제1 이너 플레이트는 플레이트 영역과 상기 플레이트 영역으로부터 돌출된 돌출 영역을 포함하고,상기 제1 이너 플레이트의 돌출 영역은 상기

내부 공간부를 갖는 케이스;상기 내부 공간부에 배치되고, 제1 방향으로 길게 연장되고, 증착물질을 수용하는 도가니;상기 도가니의 일 단부에 배치되고, 상기 증착물질이 지나는 출구를 갖는 노즐; 상기 노즐의 내측면에 고정되고, 제1 이너 홀을 포함하는 제1 이너 플레이트; 및상기 도가니 내에서 상기 노즐의 하부에 배치되고, 상기 노즐에 대해 상기 제1 방향으로 이동 가능한 노즐 필터를 포함하고,상기 제1 이너 플레이트는 플레이트 영역과 상기 플레이트 영역으로부터 돌출된 돌출 영역을 포함하고,상기 제1 이너 플레이트의 돌출 영역은 상기 노즐의 내측벽에 부착되고,상기 노즐 필터는 상기 제1 이너 플레이트의 돌출 영역에 걸리는 진공 증발원.