[특허]멀티 브릿지 채널 전계 효과 트랜지스터 및 그 제조 방법

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[한국특허] 멀티 브릿지 채널 전계 효과 트랜지스터 및 그 제조 방법
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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-029/786 H01L-029/06 H01L-029/08 H01L-029/423 H01L-029/66
출원번호	10-2021-0121176 (2021-09-10)
공개번호	10-2023-0037989 (2023-03-17)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020210121176
발명자 / 주소	김창현 / 경기도 수원시 영통구 삼성로 * (삼성전자소재연구단지) 김언기 / 경기도 수원시 영통구 권선로번길 -, 호 (신동) 정아름 / 경기도 수원시 영통구 삼성로 * (전자소재연구단지연구동층DeviceLab) 변경은 / 경기도 성남시 분당구 미금로 *, 동 **호 (구미동, 까치마을)
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 삼성로 *** (매탄동)
대리인 / 주소	리앤목특허법인
법적상태	공개

초록

멀티 브릿지 채널 전계 효과 트랜지스터는 기판, 기판 상에서 제공되는 제1 소스/드레인 패턴, 기판 상에서 제1 소스/드레인 패턴으로부터 제1 방향을 따라 이격되는 제2 소스/드레인 패턴, 제1 소스/드레인 패턴 및 제2 소스/드레인 패턴 사이에 제공되는 제1 채널층 및 제2 채널층, 제1 채널층과 제1 소스/드레인 패턴 사이에 제공되는 제1 그래핀 배리어, 제1 채널층을 둘러싸는 게이트 절연막, 및 게이트 절연막을 사이에 두고 상기 제1 채널층을 둘러싸는 게이트 전극을 포함한다.

대표청구항

기판;상기 기판 상에서 제공되는 제1 소스/드레인 패턴;상기 기판 상에서 상기 제1 소스/드레인 패턴으로부터 제1 방향을 따라 이격되는 제2 소스/드레인 패턴; 상기 제1 소스/드레인 패턴 및 상기 제2 소스/드레인 패턴 사이에 제공되는 제1 채널층 및 제2 채널층;상기 제1 채널층과 상기 제1 소스/드레인 패턴 사이에 제공되는 제1 그래핀 배리어; 상기 제1 채널층을 둘러싸는 게이트 절연막; 및상기 게이트 절연막을 사이에 두고 상기 제1 채널층을 둘러싸는 게이트 전극;을 포함하는 멀티 브릿지 채널 전계 효과 트랜지스터.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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