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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0124131 (2021-09-16) | |
공개번호 | 10-2023-0040698 (2023-03-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210124131 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-06-16) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명에 따른 제조 방법은 원자층 증착법으로 제1 금속 산화물 박막을 고체 산화물 상에 형성하고, 그 위에 제2 금속 전구체를 이용하여 제2 금속 나노입자를 형성하여, 고체 산화물 상에 형성된 금속 나노입자의 열적 및 화학적 내구성을 현저히 향상시킬 수 있다.
고체 산화물 표면에 제1 금속 전구체를 원자층 증착법으로 증착하여, 상기 고체 산화물 표면 일부에 제1 금속 산화물 박막을 형성하는 단계(단계 1); 및상기 단계 1에서 제조된 고체 산화물 표면에 제2 금속 전구체를 도포하고 열처리하여, 제2 금속 나노입자를 제1 금속 산화물 박막 상에 형성하는 단계(단계 2)를 포함하고,상기 제1 금속은 Ti, Ce, Fe, 또는 Mn이고, 상기 제2 금속은 Pt, Pd, Ni, Rh, Ru, 또는 Ag인,금속 나노입자가 형성된 고체 산화물의 제조 방법.
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