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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0136741 (2021-10-14) | |
등록번호 | 10-2391232-0000 (2022-04-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210136741 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-10-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
제품 생산 및 품질을 개선할 수 있는 그래핀 전사 장치 및 그래핀 전사 방법이 개시된다. 이는, 전사 기판이 안착되는 지그를 이용하여 그래핀을 전사 기판으로 전사하는 전사 공정을 수행함으로써, 그래핀이 전사 기판의 상부면을 모두 덮도록 전사할 수 있다. 또한, 그래핀이 전사되는 영역을 전사 기판의 상부면뿐만 아니라 전사 기판을 제외한 지그 상부면의 주변 영역까지 전사되도록 할 수 있기 때문에, 그래핀을 전사 기판에 전사하기 위한 그래핀 이송부의 정밀한 얼라인 없이도 전사 기판의 상부면 전체를 그래핀이 전사되도록 할 수 있다. 따라서
챔버 몸체;상기 챔버 몸체 내부로 그래핀을 이송시키는 그래핀 이송부;상기 그래핀 이송부 하부에 배치되고, 상기 그래핀 이송부를 상부 또는 하부 방향으로 이동시키는 지지대부; 및상기 챔버 몸체 내에 이송되어 상기 지지대부 상에 배치되되, 상기 챔버 몸체 내부로 이송된 상기 그래핀 이송부가 안착되는 기판 적재부를 포함하고,상기 기판 적재부는,상부에 상기 그래핀이 전사되는 전사 기판; 및상기 전사 기판이 안착홈에 삽입되어 안착되는 지그(jig)를 포함하는 그래핀 전사 장치.
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