초록 ▼

본 발명은 반도체 소자의 제조공정으로부터 발생할 수 있는 부산물인 폐실리콘, 예컨대 실리콘 폐슬러지 및 실리콘 스크랩을 활용하여 실리콘 나노분말을 제조하는 방법 및 상기 방법을 통해 제조된 실리콘 나노분말을 이차전지용 음극재로 활용하는 방법에 관한 것으로, (S1) 반도체 소자 제조공정에서 발생하는 실리콘 폐슬러지 및 실리콘 스크랩을 회수하는 단계; (S2) 회수한 상기 실리콘 폐슬러지 및 실리콘 스크랩에서 실리콘 절삭분(Si)를 분리 회수하는 단계; (S3) 분리 회수한 상기 실리콘 절삭분을 세척 및 포밍하는 단계; (S4) 상기

본 발명은 반도체 소자의 제조공정으로부터 발생할 수 있는 부산물인 폐실리콘, 예컨대 실리콘 폐슬러지 및 실리콘 스크랩을 활용하여 실리콘 나노분말을 제조하는 방법 및 상기 방법을 통해 제조된 실리콘 나노분말을 이차전지용 음극재로 활용하는 방법에 관한 것으로, (S1) 반도체 소자 제조공정에서 발생하는 실리콘 폐슬러지 및 실리콘 스크랩을 회수하는 단계; (S2) 회수한 상기 실리콘 폐슬러지 및 실리콘 스크랩에서 실리콘 절삭분(Si)를 분리 회수하는 단계; (S3) 분리 회수한 상기 실리콘 절삭분을 세척 및 포밍하는 단계; (S4) 상기 (S3)의 실리콘을 이송식 아크 플라즈마 장치에 투입하고 플라즈마를 발생시켜 진공 나노분말을 제조하는 단계; 를 포함하는, 반도체 소자의 제조공정에서 발생하는 폐슬러지/스크랩을 재활용하여 실리콘 나노분말을 제조하는 방법을 제공한다.또한, 상기와 같은 방법으로 수득된 실리콘 나노분말을 이차전지용 음극소재로써 활용하여 반도체 제조공정에서 발생하는 실리콘 부산물을 친환경적으로 업사이클링할 수 있다.

대표청구항

(S1) 반도체 소자 제조공정에서 발생하는 폐실리콘 부산물을 회수하는 단계; (S2) 회수한 상기 실리콘 폐실리콘 부산물에서 실리콘 절삭분(Si)를 분리 회수하는 단계; (S3) 분리 회수한 상기 실리콘 절삭분을 세척 및 포밍하는 단계;(S4) 상기 (S3)의 실리콘을 이송식 아크 플라즈마 장치에 투입하고 플라즈마를 발생시켜 진공 나노분말을 제조하는 단계;를 포함하는, 폐실리콘 부산물로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법.

(S1) 반도체 소자 제조공정에서 발생하는 폐실리콘 부산물을 회수하는 단계; (S2) 회수한 상기 실리콘 폐실리콘 부산물에서 실리콘 절삭분(Si)를 분리 회수하는 단계; (S3) 분리 회수한 상기 실리콘 절삭분을 세척 및 포밍하는 단계;(S4) 상기 (S3)의 실리콘을 이송식 아크 플라즈마 장치에 투입하고 플라즈마를 발생시켜 진공 나노분말을 제조하는 단계;를 포함하는, 폐실리콘 부산물로부터 실리콘 나노분말을 제조하는 방법.