초록 ▼

본 발명은 볼록렌즈, 미러, 프리즘과 같은 광학 부품을 이용하여 종단에서 광을 집속시키면서 전반사를 일으키게 함으로써 시료에 대해 광유도력을 발생시키고 이를 측정하는 광유도력 현미경에 관한 것이다.본 발명의 일 실시예에 따른 광유도력 현미경은, 시료의 표면을 따라 탐침이 추종될 수 있도록 구성되는 스캐닝 프로브 장치 및 상기 시료의 특정 위치에 변조된 광을 조사할 수 있도록 구성되는 광원을 포함한다.상기 광유도력 현미경은, 상기 광원으로부터의 광은 볼록렌즈를 통과하여, 제1 미러와 제2 미러에 순차적으로 반사되어 프리즘의 한면을 통

본 발명은 볼록렌즈, 미러, 프리즘과 같은 광학 부품을 이용하여 종단에서 광을 집속시키면서 전반사를 일으키게 함으로써 시료에 대해 광유도력을 발생시키고 이를 측정하는 광유도력 현미경에 관한 것이다.본 발명의 일 실시예에 따른 광유도력 현미경은, 시료의 표면을 따라 탐침이 추종될 수 있도록 구성되는 스캐닝 프로브 장치 및 상기 시료의 특정 위치에 변조된 광을 조사할 수 있도록 구성되는 광원을 포함한다.상기 광유도력 현미경은, 상기 광원으로부터의 광은 볼록렌즈를 통과하여, 제1 미러와 제2 미러에 순차적으로 반사되어 프리즘의 한면을 통과한 후 다른 한면에 대해 전반사를 발생시키도록, 상기 볼록렌즈, 상기 제1 미러, 상기 제2 미러 및 상기 프리즘이 배치되며, 전반사가 일어나는 상기 프리즘의 다른 한면의 외측으로는 유체가 위치하며, 상기 유체 속에 상기 탐침이 위치한다.본 발명에 따르면, 원하는 위치에 광을 집속시켜 간편하게 광유도력을 발생시킬 수 있고, 물과 같은 액체 내에 탐침을 배치하여 시료의 특성을 측정하는 등 특수한 환경에서의 측정이 가능하다.

대표청구항 ▼

시료의 표면을 따라 탐침이 추종될 수 있도록 구성되는 스캐닝 프로브 장치 및 상기 시료의 특정 위치에 변조된 광을 조사할 수 있도록 구성되는 광원을 포함하는 광유도력 현미경에 있어서,하우징;상기 하우징의 내부에 고정되고, 길이가 같은 제1 광학면 및 제2 광학면과, 상기 제1 광학면 및 상기 제2 광학면보다 긴 제3 광학면을 갖는 직각 프리즘 형태의 프리즘;상기 하우징에 고정되고, 상기 광원으로부터의 광을 반사시키는 반사면을 갖는 제1 미러;상기 하우징에 고정되고, 상기 제1 미러에서 반사되는 광을 상기 프리즘으로 반사시키기 위한

시료의 표면을 따라 탐침이 추종될 수 있도록 구성되는 스캐닝 프로브 장치 및 상기 시료의 특정 위치에 변조된 광을 조사할 수 있도록 구성되는 광원을 포함하는 광유도력 현미경에 있어서,하우징;상기 하우징의 내부에 고정되고, 길이가 같은 제1 광학면 및 제2 광학면과, 상기 제1 광학면 및 상기 제2 광학면보다 긴 제3 광학면을 갖는 직각 프리즘 형태의 프리즘;상기 하우징에 고정되고, 상기 광원으로부터의 광을 반사시키는 반사면을 갖는 제1 미러;상기 하우징에 고정되고, 상기 제1 미러에서 반사되는 광을 상기 프리즘으로 반사시키기 위한 반사면을 갖는 제2 미러를 포함하고,상기 제2 미러의 반사면은 상기 하우징의 길이 방향에 대해 평행하게 배치되고,상기 광원으로부터의 광은 볼록렌즈를 통과하여 상기 하우징의 길이 방향과 평행하게 상기 하우징 내부로 입사되어, 상기 제1 미러와 상기 제2 미러에서 순차적으로 반사되어 상기 프리즘의 상기 제3 광학면을 통과한 후 상기 제1 광학면에 대해 전반사를 발생시키고, 상기 제1 미러의 반사면의 적어도 일부와 상기 제2 미러의 반사면의 적어도 일부가 상기 하우징의 길이 방향과 수직 방향으로 서로 마주하도록 상기 볼록렌즈, 상기 제1 미러, 상기 제2 미러 및 상기 프리즘이 배치되며,전반사가 일어나는 상기 프리즘의 상기 제1 광학면의 외측으로는 유체가 위치하며, 상기 유체 속에 상기 탐침이 위치하는, 광유도력 현미경.