초록 ▼

본 발명은 플라즈마 처리 공정 중 발생하는 오염입자를 포집하고 분석하기 위한 장치에 관한 것으로, 플라즈마 처리 장치용 공정챔버의 일측에 결합되며, 일측에 투시창이 형성된 도킹챔버와, 상기 도킹챔버 내부에 배치되며 플라즈마 처리 공정 중 발생하는 오염입자가 포집되는 포집플레이트와, 상기 공정챔버와 상기 도킹챔버를 결합 또는 분리시키는 도킹수단과, 상기 도킹챔버에 형성되며 상기 도킹챔버를 개폐시키는 개폐수단과, 상기 도킹챔버 일측에 형성되며, 상기 투시창을 통해 상기 포집플레이트 상에 포집된 오염입자를 분석하는 분석모듈을 포함하는 것

본 발명은 플라즈마 처리 공정 중 발생하는 오염입자를 포집하고 분석하기 위한 장치에 관한 것으로, 플라즈마 처리 장치용 공정챔버의 일측에 결합되며, 일측에 투시창이 형성된 도킹챔버와, 상기 도킹챔버 내부에 배치되며 플라즈마 처리 공정 중 발생하는 오염입자가 포집되는 포집플레이트와, 상기 공정챔버와 상기 도킹챔버를 결합 또는 분리시키는 도킹수단과, 상기 도킹챔버에 형성되며 상기 도킹챔버를 개폐시키는 개폐수단과, 상기 도킹챔버 일측에 형성되며, 상기 투시창을 통해 상기 포집플레이트 상에 포집된 오염입자를 분석하는 분석모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹형 오염입자 포집 및 분석 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 공정챔버에 결합 및 분리가 가능한 도킹챔버를 구비하여 플라즈마 처리 공정 중 인시츄(in-situ) 또는 익스시츄(ex-situ)로 오염입자를 분석할 수 있는 이점이 있다.

대표청구항 ▼

플라즈마 처리 장치용 공정챔버의 일측에 결합되며, 일측에 투시창이 형성된 도킹챔버;상기 도킹챔버 내부에 배치되며 플라즈마 처리 공정 중 발생하는 오염입자가 포집되는 포집플레이트;상기 공정챔버와 상기 도킹챔버를 결합 또는 분리시키는 도킹수단;상기 도킹챔버에 형성되며 상기 도킹챔버를 개폐시키는 개폐수단; 및상기 도킹챔버 일측에 형성되며, 상기 투시창을 통해 상기 포집플레이트 상에 포집된 오염입자를 분석하는 분석모듈;을 포함하고,상기 도킹수단은,상기 도킹챔버에 형성되며, 상기 공정챔버에 형성된 공정챔버포트와 결합되는 도킹챔버포트; 및상기

플라즈마 처리 장치용 공정챔버의 일측에 결합되며, 일측에 투시창이 형성된 도킹챔버;상기 도킹챔버 내부에 배치되며 플라즈마 처리 공정 중 발생하는 오염입자가 포집되는 포집플레이트;상기 공정챔버와 상기 도킹챔버를 결합 또는 분리시키는 도킹수단;상기 도킹챔버에 형성되며 상기 도킹챔버를 개폐시키는 개폐수단; 및상기 도킹챔버 일측에 형성되며, 상기 투시창을 통해 상기 포집플레이트 상에 포집된 오염입자를 분석하는 분석모듈;을 포함하고,상기 도킹수단은,상기 도킹챔버에 형성되며, 상기 공정챔버에 형성된 공정챔버포트와 결합되는 도킹챔버포트; 및상기 도킹챔버포트와 상기 공정챔버포트를 결합시키는 클램프;를 포함하고,상기 도킹챔버포트와 상기 공정챔버포트 사이에 진공씰링가스켓이 삽입되어 상기 클램프에 의해 상기 도킹챔버포트와 상기 공정챔버포트를 기밀결합시키고,상기 클램프는,한쌍으로 형성되며, 상기 도킹챔버포트와 상기 공정챔버포트 양측에서 볼팅되어 결합되고,상기 공정챔버가,상기 도킹챔버에서 플라즈마 처리 공정으로부터 발생되는 오염 입자의 분석시, 상기 도킹수단과 상기 개폐수단을 통해 상기 도킹챔버와 연통하는 때,상기 도킹챔버는,상기 공정챔버에서 상기 플라즈마 처리 공정의 수행시, 상기 도킹수단과 상기 개폐수단을 통해 상기 공정챔버와 연통하고,공정챔버에서 플라즈마 처리 공정의 수행 또는 도킹챔버에서 오염 입자의 분석시, 상기 공정챔버와 함께 동일한 공정 환경을 가지는 것을 특징으로 하는 도킹형 오염입자 포집 및 분석 장치.