초록 ▼

본 발명은 증착 공정용 유기금속 전구체의 진공 환경 열안정성 평가를 위한 샘플링 장치 및 샘플링 방법에 관한 것으로서, 열처리하고자 하는 시료를 담는 시료 용기와, 상기 시료 용기에 수용된 시료를 열처리하는데 사용되는 히터와, 상기 시료 용기 하단에 설치되어 시료 용기에 수용된 시료가 외부에 노출되지 않도록 수동으로 개폐하는 제1 매뉴얼 밸브와, 상기 시료 용기 내에서 기화된 가스가 이동하는 유로를 제공하는 펌핑라인과, 상기 펌핑 라인의 단부에 설치되어 필요에 따라 해당 장치 내부를 진공 상태로 만들기 위한 진공펌프와, 상기 제1

본 발명은 증착 공정용 유기금속 전구체의 진공 환경 열안정성 평가를 위한 샘플링 장치 및 샘플링 방법에 관한 것으로서, 열처리하고자 하는 시료를 담는 시료 용기와, 상기 시료 용기에 수용된 시료를 열처리하는데 사용되는 히터와, 상기 시료 용기 하단에 설치되어 시료 용기에 수용된 시료가 외부에 노출되지 않도록 수동으로 개폐하는 제1 매뉴얼 밸브와, 상기 시료 용기 내에서 기화된 가스가 이동하는 유로를 제공하는 펌핑라인과, 상기 펌핑 라인의 단부에 설치되어 필요에 따라 해당 장치 내부를 진공 상태로 만들기 위한 진공펌프와, 상기 제1 매뉴얼 밸브에 연결되며 샘플링을 위한 유로를 제공하고, 상기 제1 매뉴얼 밸브의 하단에서 분기되어 상기 펌핑 라인에 연결되는 샘플링 라인과, 상기 시료 용기에서 채취한 시료를 담을 수 있도록 상기 샘플링 라인의 하단에 설치되는 샘플링 용기와, 샘플링 후 상기 샘플링 라인에 잔류하는 시료를 제거하기 위해 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스 라인과, 상기 퍼지가스 라인에 연결되며 퍼지 시 사용되는 불활성 압축가스가 담겨있는 고압 용기인 불활성 가스 봄베와, 상기 펌핑 라인, 샘플링 라인 및 퍼지가스 라인에 설치되어 공압을 이용하여 작동되는 다수의 공압 밸브와, 상기 펌핑 라인, 샘플링 라인 및 이에 설치된 다수의 공압밸브를 시료 용기 온도보다 소정 온도만큼 높게 올려주기 위한 라인 히터와, 제어부를 포함한다.

대표청구항 ▼

열처리하고자 하는 시료를 담는 시료 용기;상기 시료 용기에 수용된 시료를 열처리하는데 사용되는 히터;상기 시료 용기 하단에 설치되어 시료 용기에 수용된 시료가 외부에 노출되지 않도록 수동으로 개폐하는 제1 매뉴얼 밸브;상기 시료 용기 내에서 기화된 가스가 이동하는 유로를 제공하는 펌핑라인;상기 펌핑 라인의 단부에 설치되어 해당 장치 내부를 진공 상태로 만들기 위한 진공펌프;상기 제1 매뉴얼 밸브에 연결되며 샘플링을 위한 유로를 제공하고, 상기 제1 매뉴얼 밸브의 하단에서 분기되어 상기 펌핑 라인에 연결되는 샘플링 라인; 상기 시료

열처리하고자 하는 시료를 담는 시료 용기;상기 시료 용기에 수용된 시료를 열처리하는데 사용되는 히터;상기 시료 용기 하단에 설치되어 시료 용기에 수용된 시료가 외부에 노출되지 않도록 수동으로 개폐하는 제1 매뉴얼 밸브;상기 시료 용기 내에서 기화된 가스가 이동하는 유로를 제공하는 펌핑라인;상기 펌핑 라인의 단부에 설치되어 해당 장치 내부를 진공 상태로 만들기 위한 진공펌프;상기 제1 매뉴얼 밸브에 연결되며 샘플링을 위한 유로를 제공하고, 상기 제1 매뉴얼 밸브의 하단에서 분기되어 상기 펌핑 라인에 연결되는 샘플링 라인; 상기 시료 용기에서 채취한 시료를 담을 수 있도록 상기 샘플링 라인의 하단에 설치되는 샘플링 용기;샘플링 후 상기 샘플링 라인에 잔류하는 시료를 제거하기 위해 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스 라인;상기 퍼지가스 라인에 연결되며 퍼지 시 사용되는 불활성 압축가스가 담겨있는 고압 용기인 불활성 가스 봄베;상기 펌핑 라인, 샘플링 라인 및 퍼지가스 라인에 설치되어 공압을 이용하여 작동되는 다수의 공압 밸브;상기 펌핑 라인, 샘플링 라인 및 이에 설치된 다수의 공압밸브를 시료 용기 온도보다 소정 온도만큼 높게 올려주기 위한 라인 히터; 및상기 히터, 라인 히터 및 공압 밸브를 포함한 장치의 구성요소들을 제어하기 위한 제어부;를 포함하며, 상기 펌핑라인은 상기 시료 용기의 상단에서 진공펌프까지 연결되며, 상기 펌핑라인에는 주기적으로 시료 용기 내부 펌핑을 가능하게 시료 용기 상단에 설치되는 제1 공압밸브가 설치되고, 상기 샘플링 라인의 분기된 라인과도 연결되어 샘플링 라인도 펌핑하도록 하며, 상기 샘플링 라인은 제1 매뉴얼 밸브의 하단에서 샘플링 용기까지 연결되고, 상기 샘플링 용기에 연결되는 부위에 샘플링 후 시료의 이동 시 시료가 외부에 노출되지 않도록 막아주는 제2 매뉴얼 밸브가 설치되며, 상기 퍼지가스 라인은 상기 봄베에서 샘플링 라인으로 연결되는 것을 특징으로 하는 증착 공정용 유기금속 전구체의 진공 환경 열안정성 평가를 위한 샘플링 장치.