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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2021-0177862 (2021-12-13) | |
| 공개번호 | 10-2023-0089326 (2023-06-20) | |
| 등록번호 | 10-2696945-0000 (2024-08-14) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020210177862 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2021-12-13) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
일 실시예에 따른 열 진공 챔버는 챔버 몸체, 상기 챔버 몸체 내부에 배치되는 냉각기, 상기 챔버 몸체 외부에 배치되어 상기 챔버 몸체에 연결되는 펌프, 상기 챔버 몸체 내부에 적어도 일부가 배치되는 수분 트랩 장치 및 상기 펌프, 상기 냉각기 및 상기 수분 트랩 장치를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 수분 트랩 장치는 냉매 공급부 및 상기 냉매 공급부에 연결되고 상기 챔버 몸체 내부에 배치되는 포집부를 포함할 수 있다.
열 진공 챔버에 있어서,챔버 몸체;상기 챔버 몸체 내부에 배치되는 냉각기;상기 챔버 몸체 외부에 배치되어 상기 챔버 몸체에 연결되는 펌프; 상기 챔버 몸체 내부에 적어도 일부가 배치되는 수분 트랩 장치; 및상기 펌프, 상기 냉각기 및 상기 수분 트랩 장치를 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 수분 트랩 장치는,냉매 공급부; 및상기 냉매 공급부에 연결되고 상기 챔버 몸체 내부에 배치되는 포집부;를 포함하며,상기 포집부는 상기 펌프에 의해 상기 챔버 몸체의 기체 내 수분을 흡착하기 전 일차적으로 수분을 흡착하고,상기 냉각기는 상기 챔버
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