초록 ▼

일 실시예에 따른 베이크 아웃 장치에 있어서, 챔버, 상기 챔버 내에 위치하고, 상부에 베이크 아웃되는 시편이 배치되는 선반부, 상기 챔버 내에 위치하고, 상기 시편 상부에 위치하는 베이크 아웃에서 발생하는 탈기체를 측정하는 센서를 포함하는 측정부, 상기 챔버 내에 적어도 일부가 위치하고, 상기 측정부를 냉각시키는 냉각부를 포함할 수 있고, 상기 냉각부는, 일측의 증발 영역은 상기 측정부에 접촉하고, 타측의 응축 영역은 상기 챔버 외부에 위치하는, 폐루프를 구성하는 복수 개의 모세관 다발들을 포함할 수 있고, 상기 모세관 다발은 내

일 실시예에 따른 베이크 아웃 장치에 있어서, 챔버, 상기 챔버 내에 위치하고, 상부에 베이크 아웃되는 시편이 배치되는 선반부, 상기 챔버 내에 위치하고, 상기 시편 상부에 위치하는 베이크 아웃에서 발생하는 탈기체를 측정하는 센서를 포함하는 측정부, 상기 챔버 내에 적어도 일부가 위치하고, 상기 측정부를 냉각시키는 냉각부를 포함할 수 있고, 상기 냉각부는, 일측의 증발 영역은 상기 측정부에 접촉하고, 타측의 응축 영역은 상기 챔버 외부에 위치하는, 폐루프를 구성하는 복수 개의 모세관 다발들을 포함할 수 있고, 상기 모세관 다발은 내부에 작동 유체를 포함하고, 상기 작동 유체는 액상 슬러그와 기포 플러그의 형태로 진동하면서 상기 증발 영역으로부터 상기 응축 영역로 열을 전달할 수 있다.

대표청구항 ▼

탈기체를 감지하는 센서를 이용하는 베이크 아웃 장치에 있어서,챔버;상기 챔버 내에 위치하고, 상부에 베이크 아웃되는 시편이 배치되는 선반부;상기 챔버 내에 위치하고, 상기 시편 상부에 위치하고, 베이크 아웃에서 발생하는 탈기체를 측정하는 센서를 포함하는 측정부;상기 챔버 내에 적어도 일부가 위치하고, 상기 측정부를 냉각시키는 냉각부;를 포함하고,상기 냉각부는,일측의 증발 영역은 상기 측정부에 접촉하고, 타측의 응축 영역은 상기 챔버 외부에 위치하는, 폐루프를 구성하는 복수 개의 모세관 다발들;을 포함하고,상기 모세관 다발은 내부에

탈기체를 감지하는 센서를 이용하는 베이크 아웃 장치에 있어서,챔버;상기 챔버 내에 위치하고, 상부에 베이크 아웃되는 시편이 배치되는 선반부;상기 챔버 내에 위치하고, 상기 시편 상부에 위치하고, 베이크 아웃에서 발생하는 탈기체를 측정하는 센서를 포함하는 측정부;상기 챔버 내에 적어도 일부가 위치하고, 상기 측정부를 냉각시키는 냉각부;를 포함하고,상기 냉각부는,일측의 증발 영역은 상기 측정부에 접촉하고, 타측의 응축 영역은 상기 챔버 외부에 위치하는, 폐루프를 구성하는 복수 개의 모세관 다발들;을 포함하고,상기 모세관 다발은 내부에 작동 유체를 포함하고, 상기 작동 유체는 액상 슬러그와 기포 플러그의 형태로 진동하면서 상기 증발 영역으로부터 상기 응축 영역로 열을 전달하는,베이크 아웃 장치.