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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2021-0184295 (2021-12-21) | |
| 공개번호 | 10-2023-0094839 (2023-06-28) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020210184295 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 법적상태 | 공개 |
본 발명의 기술적 사상은 웨이퍼가 배치되도록 구성되며, 관통 홀을 포함하는 정전 척; 상기 웨이퍼를 픽업하도록 구성되며, 상기 관통 홀을 따라 승강하는 리프트 핀; 상기 리프트 핀을 승강하도록 구성되는 구동부; 상기 리프트 핀의 내부에 배치되며, 상기 웨이퍼의 전계에 의해 변화되는 광 굴절률을 가지고, 전기-광학(electro-optical) 결정을 포함하는 프로브; 상기 프로브와 상기 웨이퍼 사이에서 상기 변화된 광 굴절률에 의해 변화되는 편광 특성을 갖는 광의 하나 이상의 내부 경로를 형성하는 광학 도파로; 및 상기 리프트 핀
웨이퍼가 배치되도록 구성되며, 관통 홀을 포함하는 정전 척;상기 웨이퍼를 픽업하도록 구성되며, 상기 관통 홀을 따라 승강하는 리프트 핀;상기 리프트 핀을 승강하도록 구성되는 구동부;상기 리프트 핀의 내부에 배치되며, 상기 웨이퍼의 전계에 의해 변화되는 광 굴절률을 가지고, 전기-광학(electro-optical) 결정을 포함하는 프로브; 상기 프로브와 상기 웨이퍼 사이에서 상기 변화된 광 굴절률에 의해 변화되는 편광 특성을 갖는 광의 하나 이상의 내부 경로를 형성하는 광학 도파로; 및상기 리프트 핀 및 상기 구동부를 제어하도록 구성
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