초록 ▼

본 발명은 규소 분말 69~98중량%와, α상 질화규소 분말 1~30중량%와, 이산화규소 분말 1~10중량%를 포함하는 입도 8~10㎛의 혼합분말을 준비하는 혼합분말 준비단계 및 상기 혼합분말을 0.85~1 atm의 질소가스 분위기에서 1450~1750℃의 온도에서 5~20시간 동안 열처리하는 열처리 단계를 포함하되, 상기 열처리 단계 이전에 600℃의 온도에서 질소가스 및 수소가스가 혼합된 제1 혼합가스를 투입하고, 1000℃의 온도에서 수분, 질소가스, 수소가스 및 불화수소가스가 혼합된 제2 혼합가스를 투입하며, 상기 열처리 단

본 발명은 규소 분말 69~98중량%와, α상 질화규소 분말 1~30중량%와, 이산화규소 분말 1~10중량%를 포함하는 입도 8~10㎛의 혼합분말을 준비하는 혼합분말 준비단계 및 상기 혼합분말을 0.85~1 atm의 질소가스 분위기에서 1450~1750℃의 온도에서 5~20시간 동안 열처리하는 열처리 단계를 포함하되, 상기 열처리 단계 이전에 600℃의 온도에서 질소가스 및 수소가스가 혼합된 제1 혼합가스를 투입하고, 1000℃의 온도에서 수분, 질소가스, 수소가스 및 불화수소가스가 혼합된 제2 혼합가스를 투입하며, 상기 열처리 단계가 완료된 후, 상기 제1 혼합가스 및 제2 혼합가스의 공급을 중단하고, 열처리된 상기 혼합분말을 서냉하여 질화규소 분말을 수득하는 냉각 단계를 포함하는 질화규소 분말 제조방법과, 상기 질화규소 분말 93~98중량%에 산화이트륨 1~5중량%, 질화알루미늄 0.5~1중량% 및 산화하프늄 0.5~1중량%를 포함하는 소결조제를 첨가한 혼합분말을 준비하는 혼합분말 준비단계 및 상기 혼합분말을 몰드에 충진한 후, 0.85~1atm의 질소가스 분위기에서 150~300kg/cm2의 압력으로 가압하면서 1750~1850℃의 온도로 2~6시간동안 유지하는 가압소결을 통해 질화규소 소결체를 제조하는 가압소결 단계를 포함하는 질화규소 소결체 제조방법에 관한 것이다.상기와 같은 본 발명에 의하면, 입자의 크기가 미세하면서 종횡비가 1에 가까운 균일한 입도를 가지고, 소결에 적합한 표면 산소량 및 내부산소량을 동시에 만족하는 질화규소 분말을 제조하고, 제조된 질화규소 분말을 이용하여 질화규소 소결체를 제조함에 따라 열전도성 및 고온에서의 기계적 강도가 우수한 질화규소 회로기판에 적용할 수 있는 질화규소 소결체를 제공할 수 있다.

대표청구항 ▼

규소 분말 69~98중량%와, α상 질화규소 분말 1~30중량%와, 이산화규소 분말 1~10중량%를 포함하는 입도 8~10㎛의 혼합분말을 준비하는 혼합분말 준비단계와;상기 혼합분말을 0.85~1 atm의 질소가스 분위기에서 1450~1750℃의 온도에서 5~20시간 동안 열처리하는 열처리 단계를 포함하되,상기 열처리 단계 이전에 600℃의 온도에서 질소가스 및 수소가스가 혼합된 제1 혼합가스를 투입하고, 1000℃의 온도에서 수분, 질소가스, 수소가스 및 불화수소가스가 혼합된 제2 혼합가스를 투입하며,상기 열처리 단계가 완료된 후,

규소 분말 69~98중량%와, α상 질화규소 분말 1~30중량%와, 이산화규소 분말 1~10중량%를 포함하는 입도 8~10㎛의 혼합분말을 준비하는 혼합분말 준비단계와;상기 혼합분말을 0.85~1 atm의 질소가스 분위기에서 1450~1750℃의 온도에서 5~20시간 동안 열처리하는 열처리 단계를 포함하되,상기 열처리 단계 이전에 600℃의 온도에서 질소가스 및 수소가스가 혼합된 제1 혼합가스를 투입하고, 1000℃의 온도에서 수분, 질소가스, 수소가스 및 불화수소가스가 혼합된 제2 혼합가스를 투입하며,상기 열처리 단계가 완료된 후, 상기 제1 혼합가스 및 제2 혼합가스의 공급을 중단하고, 열처리된 상기 혼합분말을 서냉하여 질화규소 분말을 수득하는 냉각 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화규소 분말 제조방법.