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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7001825 (2021-01-19) | |
공개번호 | 10-2021-0010656 (2021-01-27) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2015-145487 (2015-07-23) | |
국제출원번호 | PCT/JP2016/068456 (2016-06-22) | |
국제공개번호 | WO 2017/013988 (2017-01-26) | |
번역문제출일자 | 2021-01-19 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217001825 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
법적상태 | 거절 |
기판 상의 금속 함유막을, 에칭액을 이용하여 에칭하는 웨트 에칭 방법으로서, 상기 에칭액이, 트리플루오로메틸기와 카르보닐기가 결합된 β-디케톤의 유기 용매 용액로서, 상기 금속 함유막이 상기 β-디케톤과 착체를 형성 가능한 금속 원소를 포함하는 것을 특징으로 한다.
기판 상의 금속 함유막을, 에칭액을 이용하여 에칭하는 웨트 에칭 방법으로서,상기 에칭액이, 트리플루오로메틸기와 카르보닐기가 결합된 β-디케톤과, 유기 용매만으로 이루어지고,상기 금속 함유막이, 상기 β-디케톤과 착체를 형성 가능한 금속 원소의 단체의 막, 또는 상기 금속 원소를 포함하는 합금의 막인 것을 특징으로 하는 웨트 에칭 방법.
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