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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7003836 (2021-02-08) | |
공개번호 | 10-2021-0058810 (2021-05-24) | |
등록번호 | 10-2655059-0000 (2024-04-02) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-153587 (2018-08-17) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/032264 (2019-08-19) | |
국제공개번호 | WO 2020/036233 (2020-02-20) | |
번역문제출일자 | 2021-02-08 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217003836 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-06-13) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
노내 질화 포텐셜 연산 장치에 의해서 연산되는 처리로 내의 질화 포텐셜과 목표 질화 포텐셜에 따라, 암모니아 분해 가스의 도입량을 일정하게 유지하면서 암모니아 가스의 도입량을 변화시키는 것에 의해서, 상기 처리로 내의 질화 포텐셜을 상기 목표 질화 포텐셜에 근접시킨다.
암모니아 가스와 암모니아 분해 가스를 계속적으로 처리로 내에 도입해서, 상기 처리로 내에 배치되는 피처리품의 표면 경화 처리로서 가스 질화 처리를 행하는 표면 경화 처리 장치로서,상기 처리로 내의 수소 농도 또는 암모니아 농도를 검출하는 노내 분위기 가스 농도 검출 장치와,상기 노내 분위기 가스 농도 검출 장치에 의해서 검출되는 수소 농도 또는 암모니아 농도에 근거해서 상기 처리로 내의 질화 포텐셜을 연산하는 노내 질화 포텐셜 연산 장치와, 상기 노내 질화 포텐셜 연산 장치에 의해서 연산되는 상기 처리로 내의 질화 포텐셜과 목표 질
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