초록 ▼

예시적 실시 형태에 따른 온도 조절 시스템의 열 교환부는 냉매에 의한 열 교환을 행하고 배치대 내에 마련되어 복수의 열 교환실을 구비하고, 복수의 열 교환실의 각각은 배치대에 설정된 복수의 영역의 각각에 배치되고, 복수의 영역은 배치대의 배치면을 따라 설정되고, 칠러 장치는 복수의 열 교환실과의 사이에서 냉매를 순환시키고, 온도 검출 장치는 복수의 온도 검출기를 구비하고, 복수의 온도 검출기의 각각은 복수의 영역의 각각에 배치되고, 복수의 열 교환실의 각각과 배치면과의 사이에 배치된다. 제어 장치는, 칠러 장치를 제어함으로써, 배치

예시적 실시 형태에 따른 온도 조절 시스템의 열 교환부는 냉매에 의한 열 교환을 행하고 배치대 내에 마련되어 복수의 열 교환실을 구비하고, 복수의 열 교환실의 각각은 배치대에 설정된 복수의 영역의 각각에 배치되고, 복수의 영역은 배치대의 배치면을 따라 설정되고, 칠러 장치는 복수의 열 교환실과의 사이에서 냉매를 순환시키고, 온도 검출 장치는 복수의 온도 검출기를 구비하고, 복수의 온도 검출기의 각각은 복수의 영역의 각각에 배치되고, 복수의 열 교환실의 각각과 배치면과의 사이에 배치된다. 제어 장치는, 칠러 장치를 제어함으로써, 배치대의 온도가 제 1 온도 범위에 이르도록 냉매의 압력을 조절한 후에 복수의 온도 검출기의 모든 검출 온도가 제 1 온도 범위에 이르도록 복수의 열 교환실의 각각에 공급되는 냉매의 유량을 개별로 조절한다.

대표청구항 ▼

온도 조절 시스템으로서,열 교환부, 칠러 장치, 가열 장치, 온도 검출 장치 및 제어 장치를 구비하고,상기 열 교환부는, 냉매에 의한 열 교환을 행하고, 피처리체가 배치되는 배치대 내에 마련되어, 복수의 열 교환실을 구비하고,복수의 상기 열 교환실의 각각은, 상기 배치대에 설정된 복수의 영역의 각각에 배치되고,복수의 상기 영역은, 상기 배치대의 배치면을 따라 설정되고,상기 칠러 장치는, 복수의 상기 열 교환실과의 사이에서 상기 냉매를 순환시키고,상기 온도 검출 장치는, 복수의 온도 검출기를 구비하고,복수의 상기 온도 검출기의 각각은

온도 조절 시스템으로서,열 교환부, 칠러 장치, 가열 장치, 온도 검출 장치 및 제어 장치를 구비하고,상기 열 교환부는, 냉매에 의한 열 교환을 행하고, 피처리체가 배치되는 배치대 내에 마련되어, 복수의 열 교환실을 구비하고,복수의 상기 열 교환실의 각각은, 상기 배치대에 설정된 복수의 영역의 각각에 배치되고,복수의 상기 영역은, 상기 배치대의 배치면을 따라 설정되고,상기 칠러 장치는, 복수의 상기 열 교환실과의 사이에서 상기 냉매를 순환시키고,상기 온도 검출 장치는, 복수의 온도 검출기를 구비하고,복수의 상기 온도 검출기의 각각은, 복수의 상기 영역의 각각에 배치되고, 복수의 상기 열 교환실의 각각과 상기 배치면과의 사이에 배치되고,상기 제어 장치는, 상기 칠러 장치를 제어함으로써 상기 배치대의 온도가 제 1 온도 범위에 이르도록 상기 냉매의 압력을 조절한 후에, 상기 칠러 장치를 제어함으로써 복수의 상기 온도 검출기의 모든 검출 온도가 상기 제 1 온도 범위에 이르도록 복수의 상기 열 교환실의 각각에 공급되는 상기 냉매의 유량을 개별로 조절하는,　온도 조절 시스템.