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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7012240 (2021-04-23) | |
공개번호 | 10-2021-0062680 (2021-05-31) | |
우선권정보 | 독일(DE) 10 2018 216 623.4 (2018-09-27) | |
국제출원번호 | PCT/EP2019/071577 (2019-08-12) | |
국제공개번호 | WO 2020/064201 (2020-04-02) | |
번역문제출일자 | 2021-04-23 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217012240 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명은 질량 분석법에 의해 가스(2)를 분석하기 위한 질량 분석기(1)에 관한 것으로, 질량 분석기(1) 외부의 공정 영역(4)으로부터 이온화 영역(11) 안으로 분석하고자 하는 가스(2)를 펄스 공급하기 위한 제어 가능한 유입구 시스템(6)과, 분석하고자 하는 가스(2)를 이온화 영역(11) 내에서 이온화하기 위한 이온화 장치(14)와, 이온화 영역(11)으로부터 이온 이송 영역(20)을 통하여 분석 영역(25) 안으로 이온화된 가스(2a)를 이송하기 위한 이온 이송 장치(21)와, 분석 영역(25) 내에서 이온화된 가스(2a
질량 분석법에 의해 가스(2)를 분석하기 위한 질량 분석기(1)에 있어서,상기 질량 분석기(1) 외부의 공정 영역(4)으로부터 이온화 영역(11) 안으로, 분석하고자 하는 가스(2)를 펄스 공급하기 위한 제어 가능한 유입구 시스템(6), 상기 이온화 영역(11) 내에서, 분석하고자 하는 상기 가스(2)를 이온화하기 위한 이온화 장치(14), 상기 이온화 영역(11)으로부터 이온 이송 영역(20)을 통하여 분석 영역(25) 안으로, 이온화된 가스(2a)를 이송하기 위한 이온 이송 장치(21), 및상기 분석 영역(25) 내에서 상기 이
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