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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7016678 (2021-06-01) | |
공개번호 | 10-2021-0072115 (2021-06-16) | |
등록번호 | 10-2646994-0000 (2024-03-08) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-226435 (2018-12-03) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/045461 (2019-11-20) | |
국제공개번호 | WO 2020/116169 (2020-06-11) | |
번역문제출일자 | 2021-06-01 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217016678 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-06-02) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
가열부가, 어닐링대상물의 표면을 가열하여 표층부를 일시적으로 용융시킨다. 가열부에 의하여 가열된 어닐링대상물로부터의 열방사광이 센서에 의하여 검출된다. 처리부가, 센서에 의하여 검출된 열방사광의 강도의 시간변화를 나타내는 파형에 근거하여, 어닐링대상물의 어닐링결과를 추정한다.
어닐링대상물의 표면을 가열하여 표층부를 일시적으로 용융시키는 가열부와,상기 가열부에 의하여 가열된 상기 어닐링대상물로부터의 열방사광을 검출하는 센서와,상기 센서로 검출된 열방사광의 강도의 시간변화를 나타내는 파형의 면적에 근거하여, 상기 어닐링대상물의 표층부의 용융깊이를 추정하는 처리부를 갖는 어닐링장치.
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