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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7021691 (2021-07-09) | |
공개번호 | 10-2021-0108401 (2021-09-02) | |
등록번호 | 10-2619843-0000 (2023-12-27) | |
국제출원번호 | PCT/CN2018/124649 (2018-12-28) | |
국제공개번호 | WO 2020/133149 (2020-07-02) | |
번역문제출일자 | 2021-07-09 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217021691 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-10-06) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
기판 상에 금속층을 도금하기 위한 도금 장치 및 도금 방법.일 실시예에서, 도금 방법은, 단계 1: 적어도 제1 애노드 및 제2 애노드(3001)를 구비하는 도금 챔버 조립체의 도금액에 기판을 침지시키는 단계; 단계 2: 제1 애노드에 인가된 제1 도금 전원을 턴온하고, 제1 도금 전원을 설정하여 전력값(P11)를 출력하고 주기(T11)로 계속하는 단계(3002); 단계 3: 주기(T11)가 종료되면, 제1 애노드에 인가되는 제1 도금 전원을 조정하여 전력값(P12)을 출력하고 주기(T12)로 계속하고, 동시에 제2 애노드에 인가되
기판 상에 금속층을 도금하기 위한 도금 방법에 있어서,단계 1: 적어도 제1 애노드 및 제2 애노드를 구비하는 도금 챔버 조립체의 도금액에 기판을 침지시키는 단계;단계 2: 상기 제1 애노드에 인가된 제1 도금 전원을 턴온하고, 전력값(P11)을 출력하도록 상기 제1 도금 전원을 설정하고 주기(T11)로 계속하는 단계;단계 3: 상기 주기(T11)가 종료되면, 상기 제1 애노드에 인가되는 제1 도금 전원을 조정하여 전력값(P12)을 출력하고 주기(T12)로 계속하고, 동시에 상기 제2 애노드에 인가되는 제2 도금 전원을 턴온하고,
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