최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2021-7028495 (2021-09-06) | |
공개번호 | 10-2021-0128421 (2021-10-26) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/810,768 (2019-02-26);미국(US) 62/928,429 (2019-10-31);미국(US) 62/959,275 (2020-01-10) | |
국제출원번호 | PCT/EP2020/052933 (2020-02-06) | |
국제공개번호 | WO 2020/173677 (2020-09-03) | |
번역문제출일자 | 2021-09-06 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217028495 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
법적상태 | 공개 |
EUV 방사선을 생성하는 데 사용되는 액적의 형성을 제어하는 장치 및 방법. 액적 공급원은 노즐을 나오는 유체 및 이 유체에 교란을 생성하는 전기 작동가능 요소를 갖는 서브시스템을 포함한다. 액적 공급원은 액적으로 분할되는 스트림을 생성하며, 이 액적들은 조사 영역을 향해 진행함에 따라 더 큰 액적으로 합체된다. 전기 작동가능 요소는 사인파 성분 및 사각파 성분을 갖는 제어 신호에 의해 구동된다. 사인파 성분과 사각파 성분 사이의 위상차 등의 다양한 파라미터가 측정 및 제어되어 스트림 중의 합체되지 않은 위성 액적의 형성을 최소화한
노즐을 가지며, 상기 노즐을 나간 후에 제 1 액적들로 분해되는 타겟 재료의 스트림을 제공하도록 구성된 타겟 재료 분배기; 상기 타겟 재료 분배기에 기계적으로 결합되고, 적용된 파형에 기초해 상기 스트림 내에 속도 섭동을 유발하도록 배치된 전기 작동가능 요소 - 상기 속도 섭동에 의해 상기 제 1 액적들은 궁극적으로 상기 노즐로부터 합체 거리 내에서 하나 이상의 단계로 상기 제 1 액적들보다 큰 제 2 액적들로 합체됨 -; 및상기 전기 작동가능 요소에 전기적으로 결합되고, 상기 적용된 파형을 생성하도록 구성된 파형 생성기를 포함하고
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.