초록 ▼

반도체 제작을 위한 데이터 수집 시스템은: T 개의 기판 프로세싱 툴들을 포함하고, T 개의 기판 프로세싱 툴들 각각은: N 개의 프로세싱 챔버들로서, N 개의 프로세싱 챔버들 각각은 N 개의 프로세싱 챔버들 중 대응하는 프로세싱 챔버의 동작 동안 복수의 상이한 타입들의 데이터를 수신하도록 구성된 프로세싱 챔버 제어기를 포함하고, 복수의 상이한 타입들의 데이터는 상이한 포맷들을 갖고, 프로세싱 챔버 제어기는 복수의 상이한 타입들의 데이터를 포맷된 데이터로 포맷하도록 더 구성되고, 그리고 T 및 N은 정수들인, N 개의 프로세싱 챔버

반도체 제작을 위한 데이터 수집 시스템은: T 개의 기판 프로세싱 툴들을 포함하고, T 개의 기판 프로세싱 툴들 각각은: N 개의 프로세싱 챔버들로서, N 개의 프로세싱 챔버들 각각은 N 개의 프로세싱 챔버들 중 대응하는 프로세싱 챔버의 동작 동안 복수의 상이한 타입들의 데이터를 수신하도록 구성된 프로세싱 챔버 제어기를 포함하고, 복수의 상이한 타입들의 데이터는 상이한 포맷들을 갖고, 프로세싱 챔버 제어기는 복수의 상이한 타입들의 데이터를 포맷된 데이터로 포맷하도록 더 구성되고, 그리고 T 및 N은 정수들인, N 개의 프로세싱 챔버들; 및 데이터 진단 서비스 컴퓨터를 포함하고, 데이터 진단 서비스 컴퓨터는: 컨텍스트 데이터를 갖는 행들을 포함하는 표-유사 데이터 구조를 갖는 공통 파일에 카테고리들로서 포맷된 데이터를 수신하고 저장하고, 그리고 요청에 응답하여, 공통 파일로부터 데이터의 서브세트를 포함하는 출력 파일을 생성하도록 구성된다.

대표청구항 ▼

반도체 제작을 위한 데이터 수집 시스템에 있어서,T 개의 기판 프로세싱 툴들을 포함하고, 상기 T 개의 기판 프로세싱 툴들 각각은:N 개의 프로세싱 챔버들로서, 상기 N 개의 프로세싱 챔버들 각각은 상기 N 개의 프로세싱 챔버들 중 대응하는 프로세싱 챔버의 동작 동안 복수의 상이한 타입들의 데이터를 수신하도록 구성된 프로세싱 챔버 제어기를 포함하고,상기 복수의 상이한 타입들의 데이터는 상이한 포맷들을 갖고,상기 프로세싱 챔버 제어기는 상기 복수의 상이한 타입들의 데이터를 포맷된 데이터로 포맷하도록 더 구성되고, 그리고T 및 N은 정

반도체 제작을 위한 데이터 수집 시스템에 있어서,T 개의 기판 프로세싱 툴들을 포함하고, 상기 T 개의 기판 프로세싱 툴들 각각은:N 개의 프로세싱 챔버들로서, 상기 N 개의 프로세싱 챔버들 각각은 상기 N 개의 프로세싱 챔버들 중 대응하는 프로세싱 챔버의 동작 동안 복수의 상이한 타입들의 데이터를 수신하도록 구성된 프로세싱 챔버 제어기를 포함하고,상기 복수의 상이한 타입들의 데이터는 상이한 포맷들을 갖고,상기 프로세싱 챔버 제어기는 상기 복수의 상이한 타입들의 데이터를 포맷된 데이터로 포맷하도록 더 구성되고, 그리고T 및 N은 정수들인, 상기 N 개의 프로세싱 챔버들; 및데이터 진단 서비스 컴퓨터를 포함하고, 상기 데이터 진단 서비스 컴퓨터는: 컨텍스트 데이터 (contextual data) 를 갖는 행들을 포함하는 표-유사 데이터 구조를 갖는 공통 파일에 카테고리들로서 상기 포맷된 데이터를 수신하고 저장하고, 그리고요청에 응답하여, 상기 공통 파일로부터 상기 데이터의 서브세트 (subset) 를 포함하는 출력 파일을 생성하도록 구성되는, 데이터 수집 시스템.