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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7029660 (2021-09-14) | |
공개번호 | 10-2021-0119544 (2021-10-05) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/806,208 (2019-02-15);미국(US) 16/691,843 (2019-11-22) | |
국제출원번호 | PCT/US2019/063810 (2019-11-28) | |
국제공개번호 | WO 2020/167361 (2020-08-20) | |
번역문제출일자 | 2021-09-14 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217029660 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
광섬유를 이용한 레이저 강화 전압 콘트라스트를 위한 시스템이 제공된다. 이 시스템은 웨이퍼를 고정하는 스테이지를 갖는 진공 챔버를 포함한다. 진공 챔버 외부의 레이저 광원은 광을 광섬유로 지향시킨다. 광섬유는 레이저 광원에서 나오는 모든 파장의 광을 진공 챔버의 벽을 통해 진공 챔버 내에 전달한다.
장치에 있어서,진공 챔버;웨이퍼를 고정하도록 구성된, 상기 진공 챔버 내에 배치되는 스테이지;상기 진공 챔버 외부에 배치된 레이저 광원;상기 레이저 광원에 의해 생성된 모든 파장의 광을, 상기 진공 챔버의 벽을 통해 진공 챔버 내로 전송하는 광섬유; 및색 소거(achromatization) 및 편광(polarization) 유닛을 포함하는 장치.
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