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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7030734 (2021-09-24) | |
공개번호 | 10-2021-0121292 (2021-10-07) | |
등록번호 | 10-2364004-0000 (2022-02-14) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2019-071038 (2019-04-03);일본(JP) JP-P-2019-116918 (2019-06-25);일본(JP) JP-P-2019-116919 (2019-06-25);일본(JP) JP-P-2019-211152 (2019-11-22);일본(JP) JP-P-2019-226662 (2019-12-16) | |
국제출원번호 | PCT/JP2020/013370 (2020-03-25) | |
국제공개번호 | WO 2020/203563 (2020-10-08) | |
번역문제출일자 | 2021-09-24 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217030734 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-09-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 과제는, 에칭 후의 액정 폴리머의 형상이 설계 형상에 가까워, 높은 면내 균일성으로 에칭할 수 있는 액정 폴리머용 에칭액 및 액정 폴리머의 에칭 방법을 제공하는 것이다. 제 1 성분으로서의 5 ∼ 45 질량% 의 알칼리 금속 수산화물 및 제 2 성분으로서의 5 ∼ 80 질량% 의, 분자량이 70 이상인 알칸올아민 화합물을 함유하고, 바람직하게는, 추가로, 1 ∼ 60 질량% 의 제 3 성분을 함유하고, 제 3 성분이, 알코올 화합물 및 카르복실산 화합물에서 선택된 적어도 1 종을 함유하는 것을 특징으로 하는 액정 폴리머용
액정 폴리머용 에칭액에 있어서, 그 에칭액이, 제 1 성분으로서의 5 ∼ 45 질량% 의 알칼리 금속 수산화물 및 제 2 성분으로서의 5 ∼ 80 질량% 의, 분자량이 70 이상인 알칸올아민 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 액정 폴리머용 에칭액.
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