초록 ▼

본 발명에 따른 폴더블 디스플레이용 UTG 제조방법은, 100um이하 두께의 UTG(ultra thin glass) 원판의 표면, 두께를 측정하고 검사하는 수입검사 단계; 상기 원판을 소정의 크기의 셀로 분리하기 위한 셀 패터닝 단계; 패터닝되어 개방된 부분을 습식으로 C-cut 등방 에칭하는 단계; C-cut 에칭된 중앙을 레이저로 컷팅하는 단계; 컷팅된 셀들을 세정하는 단계; 세정된 셀을 카세트에 담아 화학 강화로에서 화학 강화처리하는 단계; 강화처리된 셀들을 세정하는 단계; 습식 식각으로 셀의 에지를 슬리밍하는 단계; 슬리밍된

본 발명에 따른 폴더블 디스플레이용 UTG 제조방법은, 100um이하 두께의 UTG(ultra thin glass) 원판의 표면, 두께를 측정하고 검사하는 수입검사 단계; 상기 원판을 소정의 크기의 셀로 분리하기 위한 셀 패터닝 단계; 패터닝되어 개방된 부분을 습식으로 C-cut 등방 에칭하는 단계; C-cut 에칭된 중앙을 레이저로 컷팅하는 단계; 컷팅된 셀들을 세정하는 단계; 세정된 셀을 카세트에 담아 화학 강화로에서 화학 강화처리하는 단계; 강화처리된 셀들을 세정하는 단계; 습식 식각으로 셀의 에지를 슬리밍하는 단계; 슬리밍된 셀들을 세정하는 단계; 세정 이후 출하 검사를 하는 단계 및 양품의 셀들을 포장 출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

100um이하 두께의 UTG(ultra thin glass) 원판의 표면, 두께를 측정하고 검사하는 수입검사 단계; 상기 원판을 소정의 크기의 셀로 분리하기 위한 셀 패터닝 단계; 패터닝되어 개방된 부분을 습식으로 C-cut 등방 에칭하는 단계; C-cut 에칭된 중앙을 레이저로 컷팅하는 단계; 컷팅된 셀들을 세정하는 단계; 세정된 셀을 카세트에 담아 화학 강화로에서 화학 강화처리하는 단계; 강화처리된 셀들을 세정하는 단계; 습식 식각으로 셀의 에지를 슬리밍하는 단계; 슬리밍된 셀들을 세정하는 단계; 세정 이후 출하 검사를 하는 단

100um이하 두께의 UTG(ultra thin glass) 원판의 표면, 두께를 측정하고 검사하는 수입검사 단계; 상기 원판을 소정의 크기의 셀로 분리하기 위한 셀 패터닝 단계; 패터닝되어 개방된 부분을 습식으로 C-cut 등방 에칭하는 단계; C-cut 에칭된 중앙을 레이저로 컷팅하는 단계; 컷팅된 셀들을 세정하는 단계; 세정된 셀을 카세트에 담아 화학 강화로에서 화학 강화처리하는 단계; 강화처리된 셀들을 세정하는 단계; 습식 식각으로 셀의 에지를 슬리밍하는 단계; 슬리밍된 셀들을 세정하는 단계; 세정 이후 출하 검사를 하는 단계 및 양품의 셀들을 포장 출하는 단계를 포함하되,상기 C-cut 등방 에칭은 불화암모늄 18~19wt%, 황산 24~25wt%, 물 45~46wt%, 황산염 4~5wt%, 규불화염 7~8wt%의 혼합 식각액을 사용하는 것을 특징으로 하는 폴더블 디스플레이용 UTG 제조방법.