초록 ▼

본 발명은 일측에 마스크시트가 접합되어 있는 마스크 프레임을 재활용하기 위한 마스크 프레임 재활용 방법에 있어서, 상기 마스크 프레임에 접합된 상기 마스크시트에 외력을 인가하여 상기 마스크시트의 외주면을 순차적으로 상기 마스크 프레임에서 이격시키며 상기 마스크 프레임에서 상기 마스크시트를 제거하는 마스크시트 제거단계; 상기 마스크시트가 제거된 상기 마스크 프레임의 접합면에 돌기의 존재여부 및 위치를 검사하는 접합면 검사단계; 초경공구를 이용하여 상기 마스크 프레임의 접합면에 존재하는 돌기를 제거하는 접합면 돌기 제거단계; 에칭액을

본 발명은 일측에 마스크시트가 접합되어 있는 마스크 프레임을 재활용하기 위한 마스크 프레임 재활용 방법에 있어서, 상기 마스크 프레임에 접합된 상기 마스크시트에 외력을 인가하여 상기 마스크시트의 외주면을 순차적으로 상기 마스크 프레임에서 이격시키며 상기 마스크 프레임에서 상기 마스크시트를 제거하는 마스크시트 제거단계; 상기 마스크시트가 제거된 상기 마스크 프레임의 접합면에 돌기의 존재여부 및 위치를 검사하는 접합면 검사단계; 초경공구를 이용하여 상기 마스크 프레임의 접합면에 존재하는 돌기를 제거하는 접합면 돌기 제거단계; 에칭액을 이용하여 상기 마스크 프레임의 스크래치를 제거하는 접합면 스크래치 제거단계; 및 스크래치가 제거된 상기 마스크 프레임의 접합면에 마스크시트를 접합하는 마스크시트 부착단계를 포함하고, 상기 접합면 검사단계는 상기 마스크 프레임의 정상적인 접합면을 촬영하여 저장된 영상과 비젼수단에 의해 상기 마스크 시트가 제거가 수행된 상기 마스크 프레임의 접함면을 촬영한 영상을 비교하여 이루어지고, 상기 접합면 돌기 제거단계는 인바(INVAR)합금 재질인 초경공구의 일단을 상기 마스크 프레임의 접합면에 밀착시키는 초경공구 밀착단계와, 상기 마스크 프레임의 접합면에 일단이 밀착된 초경공구를 이동시켜 상기 접합면에 존재하는 돌기를 제거하는 초경공구 작업단계와, 이동된 초경공구를 원상복귀시킨 후 초경공구를 재이동시켜 상기 돌기를 반복적으로 제거하는 초경공구 반복 작업단계를 포함하며, 상기 접합면 스크래치 제거단계는 상기 돌기가 제거 시 손상된 상기 마스크 프레임의 접합면에 에칭액을 도포시키는 에칭액 도포단계와, 에칭액 도포 후 일정시간을 경과시킴으로써 접합면을 식각시켜 스크래치를 제거하는 접합면 식각단계를 포함하고, 상기 접합면에 도포되는 에칭액은 산화알루미늄, 공유, 지방산암모늄염, 에틸렌글리콜이 혼합된 제1혼합물과, 이산화규소, 증점제, 에탄올, 글리세롤을 혼합된 제2혼합물을 포함하며, 상기 에칭액이 상기 접합면을 식각시키는 시간은 10분 이상 60분 이내이고, 상기 접합면 스크래치 제거단계는 상기 접합면에서 식각에 사용된 에칭액을 제거하는 에칭액 제거단계를 더 포함하는 마스크 프레임 재활용 방법을 제공한다.따라서, 마스크시트가 제거된 접합면 전체를 연마기를 이용하여 연마하지 않고 비젼수단을 이용하여 접합면에 돌기의 존재여부 및 위치를 간편하게 확인한 후 초경공구를 이용하여 돌기가 존재하는 접합면을 긁어 잔존하는 돌기만 제거한 후 에칭액을 이용하여 돌기를 제거 시 발생되는 스크래치를 제거함으로써 접합면이 연마되는 두께를 감소시킬 수 있어 마스크 프레임이 재사용되는 횟수를 증가시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

일측에 마스크시트가 접합되어 있는 마스크 프레임을 재활용하기 위한 마스크 프레임 재활용 방법에 있어서,상기 마스크 프레임에 접합된 상기 마스크시트에 외력을 인가하여 상기 마스크시트의 외주면을 순차적으로 상기 마스크 프레임에서 이격시키며 상기 마스크 프레임에서 상기 마스크시트를 제거하는 마스크시트 제거단계;상기 마스크시트가 제거된 상기 마스크 프레임의 접합면에 돌기의 존재여부 및 위치를 검사하는 접합면 검사단계;초경공구를 이용하여 상기 마스크 프레임의 접합면에 존재하는 돌기를 제거하는 접합면 돌기 제거단계;에칭액을 이용하여 상기 마스

일측에 마스크시트가 접합되어 있는 마스크 프레임을 재활용하기 위한 마스크 프레임 재활용 방법에 있어서,상기 마스크 프레임에 접합된 상기 마스크시트에 외력을 인가하여 상기 마스크시트의 외주면을 순차적으로 상기 마스크 프레임에서 이격시키며 상기 마스크 프레임에서 상기 마스크시트를 제거하는 마스크시트 제거단계;상기 마스크시트가 제거된 상기 마스크 프레임의 접합면에 돌기의 존재여부 및 위치를 검사하는 접합면 검사단계;초경공구를 이용하여 상기 마스크 프레임의 접합면에 존재하는 돌기를 제거하는 접합면 돌기 제거단계;에칭액을 이용하여 상기 마스크 프레임의 스크래치를 제거하는 접합면 스크래치 제거단계; 및스크래치가 제거된 상기 마스크 프레임의 접합면에 마스크시트를 접합하는 마스크시트 부착단계를 포함하고,상기 접합면 검사단계는,상기 마스크 프레임의 정상적인 접합면을 촬영하여 저장된 영상과 비젼수단에 의해 상기 마스크 시트가 제거가 수행된 상기 마스크 프레임의 접함면을 촬영한 영상을 비교하여 이루어지고,상기 접합면 돌기 제거단계는,인바(INVAR)합금 재질인 초경공구의 일단을 상기 마스크 프레임의 접합면에 밀착시키는 초경공구 밀착단계와,상기 마스크 프레임의 접합면에 일단이 밀착된 초경공구를 이동시켜 상기 접합면에 존재하는 돌기를 제거하는 초경공구 작업단계와,이동된 초경공구를 원상복귀시킨 후 초경공구를 재이동시켜 상기 돌기를 반복적으로 제거하는 초경공구 반복 작업단계를 포함하며,상기 접합면 스크래치 제거단계는,상기 돌기가 제거 시 손상된 상기 마스크 프레임의 접합면에 에칭액을 도포시키는 에칭액 도포단계와,에칭액 도포 후 일정시간을 경과시킴으로써 접합면을 식각시켜 스크래치를 제거하는 접합면 식각단계를 포함하고,상기 접합면에 도포되는 에칭액은 산화알루미늄, 공유, 지방산암모늄염, 에틸렌글리콜이 혼합된 제1혼합물과, 이산화규소, 증점제, 에탄올, 글리세롤을 혼합된 제2혼합물을 포함하며, 상기 에칭액이 상기 접합면을 식각시키는 시간은 10분 이상 60분 이내이고,상기 접합면 스크래치 제거단계는,상기 접합면에서 식각에 사용된 에칭액을 제거하는 에칭액 제거단계를 더 포함하는 마스크 프레임 재활용 방법.