최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2022-0122558 (2022-09-27) | |
등록번호 | 10-2523458-0000 (2023-04-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220122558 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2022-09-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
전술한 바와 같은 과제를 실현하기 위한 본 발명의 다양한 실시예에 따른 공정 설비의 비정상 동작 감지 방법이 개시된다. 상기 방법은, 공정 센서 데이터 및 상기 공정 센서 데이터에 대응하는 사전 지식 데이터를 획득하는 단계, 딥러닝 모델을 활용하여 상기 공정 센서 데이터에 대응하는 재건 공정 센서 데이터를 생성하는 단계, 상기 공정 센서 데이터 및 상기 재건 공정 센서 데이터에 기초하여 재건율 오차를 산출하는 단계 및 상기 재건율 오차와 기준 임계값의 비교에 기초하여 비정상 동작을 감지하는 단계를 포함할 수 있다.
컴퓨팅 장치의 하나 이상의 프로세서에서 수행되는 방법에 있어서,공정 센서 데이터 및 상기 공정 센서 데이터에 대응하는 사전 지식 데이터를 획득하는 단계;딥러닝 모델을 활용하여 상기 공정 센서 데이터에 대응하는 재건 공정 센서 데이터를 생성하는 단계;상기 공정 센서 데이터 및 상기 재건 공정 센서 데이터에 기초하여 재건율 오차를 산출하는 단계; 및상기 재건율 오차와 기준 임계값의 비교에 기초하여 비정상 동작을 감지하는 단계;를 포함하며,상기 공정 센서 데이터는,반도체 공정 장비의 동작에 기반하여 복수의 센서를 통해 실시간으로 획득되는
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.