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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0162479 (2022-11-29) | |
공개번호 | 10-2023-0080349 (2023-06-07) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020210167167 (2021-11-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220162479 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-11-29) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명의 실시예에 따른 곤충 눈 모사를 통해 암시야 및 명시야에서 측정이 가능한 마이크로렌즈 어레이 기반 이미징 소자의 제조 방법은 베이스판 상에 복수개의 원기둥이 형성된 마이크로 구조체를 제작하는 포토리소그래피단계; 상기 마이크로 구조체에 열을 가하여 상기 원기둥의 상단을 볼록하게 하는 리플로우단계; 액체상의 신축성 소재로 상단이 볼록한 원기둥이 형성된 마이크로 구조체를 몰딩하여 음각 구조물을 제작하는 제1몰딩단계; 액체상의 신축성 소재로 상기 음각 구조물을 몰딩하여 마이크로렌즈 어레이 필름을 제작하는 제2몰딩단계; 및 기판 상
베이스판 상에 복수개의 원기둥이 형성된 마이크로 구조체를 제작하는 포토리소그래피단계;상기 마이크로 구조체에 열을 가하여 상기 원기둥의 상단을 볼록하게 하는 리플로우단계;액체상의 신축성 소재로 상단이 볼록한 원기둥이 형성된 마이크로 구조체를 몰딩하여 음각 구조물을 제작하는 제1몰딩단계;액체상의 신축성 소재로 상기 음각 구조물을 몰딩하여 마이크로렌즈 어레이 필름을 제작하는 제2몰딩단계; 및 기판 상에 마이크로렌즈 어레이 필름을 구비시켜 이미징소자를 제작하는 이미징소자제작단계;를 포함하는 곤충 눈 모사를 통해 암시야 및 명시야에서 측정이
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